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第09章-直接探测和相干探测
课程主要内容四大部分: 第09章 直接探测和相干探测 9.1 直接探测 9.1 直接探测 光通量的频率测量 习题9-8 讨论 工作原理: 1.振动针孔调制器的工作特性 (定位特性) 1.振动针孔调制器的工作特性 (定位特性) 1.振动针孔调制器的工作特性 (定位特性) 1.振动针孔调制器的工作特性 (定位特性) 1.振动针孔调制器的工作特性 (定位特性) 1.振动针孔调制器的工作特性 (定位特性) 2.转轴表面跳动时针孔 光通量的波形图: 3.鉴相器输出U0 4.鉴相器输出波形 第九章 直接探测和相干探测 第09章 直接探测和相干探测 9.2 相干探测 9.2.1 相干探测的基本原理 9.2.1 相干探测的基本原理 9.2.1 相干探测的基本原理 光电系统--相干探测 9.2.1 相干探测的基本原理 2. 相干探测的基本特性 9.2.2 相干探测的条件 1.相干探测空间条件 1.相干探测空间条件 1.相干探测空间条件 1.相干探测空间条件 2.相干探测频率条件 3.相干探测偏振条件 9.2.2 相干探测的条件 9.2 相干探测 3)波前调制相位与二维干涉图分析 3)波前调制相位与二维干涉图分析 3)波前调制相位与二维干涉图分析 3)波前相位调制与二维干涉图分析 3)波前相位调制与二维干涉图分析 3)波前相位调制与二维干涉图分析 例:阶梯波扫描干涉法 阶梯波扫描时的干涉图: 阶梯波扫描时的干涉图: 例 阶梯波扫描干涉法 如何得到相位分布: 3)波前相位调制与二维干涉图分析 本章小结: 静止干涉图样 亮条纹 光学相位分布,计算机界面上是一幅静止的画面 ——静态检测 光学相位分布变换为时序电信号相位——动态检测 一次相位调制: 二次相位调制: (照相机) (摄像机) 1.激光干涉测量 3)二维干涉图测量 二次相位调制的实现途径 二次相位调制 移动参考镜 压电陶瓷:伸长(缩短)量 Δl = kU -ΔLr 参考镜 3)二维干涉图测量 干涉图样: 时序信号: t I 3)二维干涉图测量 干涉图样: 时序信号: t I 3)二维干涉图测量 物面凹凸 不平程度 相位分布 3)二维干涉图测量 基本思路: 亮条纹 二维 干涉图样 只分析一维的情况 干涉面上任一点x的光强度: 将上式看作是φr的余弦函数 I(x, φr)=as2(x)+ar2+2as(x)arcosφs(x)cosφr +2as(x)arsinφs(x)sinφr 求解φs表达式(1) 3)二维干涉图测量 每次改变1/n周期 采样p个周期 令φr在2π周期内每次改变1/n周期,共采样p个周期,即 求解φs表达式(2) 3)二维干涉图测量 每次光电 测量数值 求解φs表达式(3) 3)二维干涉图测量 求解φs表达式(4) 3)二维干涉图测量 i.干涉面上任意一点x的光强分布都可以展开为参考光相位φr的时序调制,即可将干涉空间图转换为时序信号: ii.被测光信息的相位φs(x)可由下式计算得出,并由此确定面形的凹凸程度: 3)二维干涉图测量 光强空间分布 1024×1024 CCD面阵 光强取样 N X P次 测量 数据平均 计算机 曲线拟合 相位分布 3)二维干涉图测量 干涉图样 亮条纹 -静态检测(精度 λ/20 ) -动态检测(精度 λ/100 ) 一次相位调制: 二次相位调制: 二次相位调制技术为干涉测量开辟了实时、数字式和高分辨率的新途径!!! 1.激光干涉测量 1.直接探测是用探测器直接测量光强度(光通量)信息,噪声等效功率极限 该方法设备简单,对光源的相干性无要求。 --像分析器 --实际中很难达到 2.相干探测是利用信号光和本征光在探测器上混合产生拍频信号来测量光波的幅度、频率和相位等信息 ,噪声等效功率极限 --实际中容易达到 信噪比高、滤波性好等优点,要求满足空间、频率和偏振条件,设备较复杂,要求光源相干性好。 --相位调制检测(单一频分光,干涉测量) --频率调制检测(运动参量、固定频移和直接调频) 信号光电流、背景光电流和器件暗电流 热噪声 散粒噪声 仅考虑信号光电流引起的散粒噪声: 直接探测的信噪比: 2. 相干探测的基本特性 外差探测: 直接探测: 仅考虑信号光引起的散粒噪声限制,即 外差探测与直
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