振动因素对SPM测量结果影响的研究演示幻灯片.pptVIP

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振动因素对SPM测量结果影响的研究;振动在SPM测量机理中的角色;SPM工作环境中的振动因素;早期SPM隔振研究 20世纪80年代中后期到90年代中后期 ;SPM的一般结构;近期SPM隔振研究;A. Stemmer的一种离线补偿方法 ;本文工作;0–7kHz,SPM基座的激振结果;0–500Hz,SPM基座的激振结果;0–50Hz激振结果 SPM基座、测头、扫描器外壳、样品台;推 论;1.8kHz-2.2kHz, Height;0k-4k-3k-2k-1k Hz, Height;0k-7k-6k-5k-4k Hz, Height;Si样品未受激振的情况;200-300-400-500-600 Hz, Height;160-180-200-220-240 Hz, Height;120-130-140-150-160 Hz, Height;80-90-100-110-120 Hz, Height;40-50-60-70-80 Hz, Height;0-10-20-30-40 Hz, Height;19-17-15-13-11 Hz, Height;2-3-4-5-6 Hz, Height;0–7kHz,Tip-Sample间距变动量;推 论;下一步的工作;全国扫描隧道显微学学术会议 STM’x 会议背景;各届STM会议简介;STM’7 小 结;STM’7 感 想; 谢 谢 !

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