激光干涉法热膨胀测定仪技术说明书-上海依阳实业有限公司.PDF

激光干涉法热膨胀测试技术应用——Application Note 001 激光干涉法热膨胀测定仪技术说明书 上海依阳实业有限公司 上海依阳实业有限公司—— 目 录 1. 概述 1 1.1. 功能概述 1 1.2. 技术指标 1 1.3. 激光干涉热膨胀测定仪工作原理及系统组成 1 1.3.1. 双频激光干涉测量原理 1 1.3.2. 双频激光干涉测量的特点 2 1.3.3. 激光干涉热膨胀测定仪结构组成 3 2. 激光干涉热膨胀测定仪结构 3 2.1. 双频激光干涉测量系统的基本组成 3 2.2. 双频激光干涉法热膨胀测定仪光学系统布局 4 2.2.1. 试样与底座的单端测试 4 2.2.2. 无辅助光学系统的双端测试 5 2.2.3. 依阳公司激光干涉法热膨胀测定仪光路布局形式 6 2.2.4. 试样和支撑反射镜设计 6 2.2.5. 激光干涉法热膨胀测定仪光学系统安装技术 7 2.2.6. 激光干涉法热膨胀测定仪光学测量系统布局 9 2.3. 高精度测量保证措施 9 2.3.1. 热变形的控制 10 2.3.2. 振动的控制 10 3. 激光干涉法热膨胀测定仪测量误差分析 12 3.1. 数学模型 13 3.2. 误差源及误差量化 13 3.2.1. 长度分量 13 3.2.2. 位移分量 13 3.2.3. 温度分量 17 3.3. 误差分析 17 4. 激光干涉法热膨胀测定仪硬件系统介绍 17 4.1. 测试系统概述 17 4.2. 测试系统组成 17 4.2.1. 激光干涉测量系统 18 4.2.2. 试样架 21 4.2.3. 加热装置 22 4.2.4. 真空密封和连接系统 25 4.2.5. 加热炉升降装置 26 II 上海依阳实业有限公司—— 1. 概述 1.1. 功能概述 依阳公司在国内首次推出了最高温度范围和最高精度的激光干涉法热膨胀性能测试系统。这套测试系 统采用了目前国际上最低温漂的双频激光干涉仪以及配套的关键技术，解决了以往必须具备苛刻隔振条件