[信息与通信]第七章电子显微镜的进展.ppt

第七章 电子显微镜进展 第一节 扫描隧道显微镜 第二节 原子力显微镜 7.1.1 扫描隧道显微镜基本结构和工作原理 扫描隧道显微镜是能观察物质超微结构的仪器，属于一种扫描探针显微镜，它与光学显微镜和电子显微镜的结构和原理有所不同，是根据原子力学隧道效应而设计的。它比一般电子显微镜的放大倍数要高出数百倍，分辨率可达原子水平。 工作原理： 扫描隧道显微镜的工作原理牵涉到许多物理方面的知识。简言之，扫描隧道显微镜是依据量子隧道效应获取样品的表面图像的。当探针与样品之间只有几个纳米的距离时，探针尖端分子的电子云和样品表面分子的电子云相互重叠，此时，在两者之间加上适当的电压（一般2mv-2v），由于量子隧道效应，探针和样品表面之间的电子相互转移，这就形成了隧道电流。由于样品表面是高低不平的，当探针在其表面扫描时，探针与样品表面之间的距离也是不断变化的。而隧道电流与这一距离成指数关系，即距离增加0.1nm，隧道电流就减少一个数量级。为了保持隧道电流的数值稳定不变，就要通过反馈回路控制探针与样品表面之间的距离，并从反馈回路的变化中得到有关样品表面起伏的电信号等，这一系列信号就经过亮度放大器等的处理之后，最终经存储示波器将样品表面的形貌图像显示出来。 因为隧道电流既可以在真空的条件下形成也可以在有电解质的条件下形成 ，所以扫描隧道电子显微镜不像电子显微镜那样必须抽真空。它既可以在超高真空和高真空的条件下工作，亦可以在大气甚至液态的条件下工作，操作者可以根据样品的条件任意选择。 7.1.2扫描隧道显微镜的功能与应用范围 扫描隧道显微镜可以直接观察样品表面的超微结构，它对观察介质没有苛求，对样品表面也没有辐射损伤。它的分辨力高于普通的电子显微镜，其横向分辨率可达0.1-0.2纳米，深度分辨力可达几个皮米。而它的放大倍数可达数千万倍，比普通电子显微镜高数百倍。这些都使扫描隧道显微镜具有很强的优势，在分子生物科学、表面科学和微电子技术等领域得到日益广泛的应用。如：用扫描隧道显微镜直接观察硅表面结构的原子排列，研究高定向石墨单晶的六角环形的原子排列及其表面碳原子的图像，以及直接观察含水的DNA大分子的结构等。但由于它是通过测样品表面的费米能级附近的电子密度来显示有关信息的，要求样品的表面必须有导电性能，因而大大限制了其应用。 7.2.1 原子力显微镜的结构及其性能 原子力显微镜是在扫描隧道显微镜的基础上发展起 来的，是当前发展最快的一种扫描探针显微镜。它通过极细的检测探针与样品表面顶端原子之间微弱的相互作用力，来分析固体样品表面的形貌。仪器不需要抽真空，样品不需要喷镀金属膜，观察时不损伤样品，且分辨率高。 原子力电子显微镜简称AFM 在真空环境下测量，其横向分辨率可达0.15nm，纵向分辨率达0.05nm，主要用于测量绝缘材料表面形貌。此外，用AFM还可测量表面原子间力、表面的弹性、塑性、硬度、粘着力、摩擦力等性质。 结构： 主要由探头、扫描装置、计算机和图像显示终端等几部分组成。 7.2.2原子力显微镜的工作原理、应用 工作原理:当探针与样品表面的顶端原子接触时，探针与顶端原子之间相互摩擦，产生微弱的相互作用力，这种作用力被称为原子力，其大小的改变是通过隧道电流的变化显示出来的。探针在样品的表面进行水平方向（Z）的扫描，因为样品表面是凹凸不平的，所以探针也就随之上下起伏，导致探针与不同的顶端原子之间的摩擦力不同，它们之间产生的相互作用力也不同。在扫描过程中，微悬臂与探针—样品之间相互作用的等位面是相对应的，所以，测量隧道电流针尖与微悬臂之间的隧道电流的变化，就可以获得样品表面形貌的形貌。在将这些信号进行模数转换，并输入计算机进行处理，最终，计算机输出的信号经转换后，通过荧光屏显示出样品表面的超微结构图像。 扫描隧道电子显微镜主要用于导体的研究，而原子力电子显微镜不仅用于导体的研究，也可用于非导体的研究。在制造原理上，两者的基础是相同的。 新一代电子显微镜的发展趋势及应用特点 2007年分析测试仪器评议---微观结构专业组 一、高性能场发射枪电子显微镜日趋普及和应用 场发射枪透射电镜能够提供高亮度、高相干性的电子光源。因而能在原子--纳米尺度上对材料的原子排列和种类进行综合分析。九十年代中期，全世界只有几十台；现在已猛增至上千台。我国目前也有上百台以上场发射枪透射电子显微镜。 常规的热钨灯丝（电子）枪扫描电子显微镜，分辨率最高只能达到 3.0nm；新一代的场发射枪扫描电子显微镜，分辨率可以优于1.0nm；超高分辨率的扫描电镜，其分辨率高达0.5nm-0.4nm。其中环境描电子显微镜可以做到真正的“环境”条件，样品可在100%的湿度条件下观察；生物样品和非导电样品不要镀膜，可以直接上机进行动态