第三章_电容式传感器1.pptVIP

§3.1 电容式传感器的工作原理 §3.2 电容式传感器测量电路 §3.3 电容式传感器的设计特点 §3.4 电容式传感器的应用 §3.1 电容式传感器的工作原理 3.1.1 工作原理及类型 3.1.2 变面积型电容传感器 3.1.3 变极距型电容传感器 3.1.4 变介电常数型电容式传感器 3.1.2 变面积(s)型电容传感器 3.1.4 变介电常数型电容式传感器 特 点 优点: 1. 温度稳定性好 （电容值与电极材料无关；本身发热极小 ） 2. 结构简单、适应性强 3. 动态响应好 4. 可以实现非接触测量、具有平均效应 动态响应好 极板间的静电引力很小，需要的作用能量极小 可测极低的压力和力，很小的速度、加速度。可以做得很灵敏，分辨率非常高，能感受0.001mm甚至更小的位移 可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻 其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量。 介质损耗小，可以用较高频率供电 系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。 缺 点 1、输出阻抗高、负载能力差 传感器的电容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响 。 2、寄生电容影响大 传感器的初始电容量小，而引线电缆电容、电路的杂散电容以及传感器内极板与其周围导体构成的电容等寄生电容却较大，这一方面降低了传感器的灵敏度；另一方面这些电容常常是随机变化的，将使传感器工作不稳定，影响测量精度 。 内容回顾 电容式传感器的工作原理是什么？ 电容式传感器共有几种类型？分别适用于测量什么量？哪种类型有非线性误差？ 什么方式能够使变极距型电容传感器的非线性误差减小，减小多少？灵敏度提高，提高多少？ §3.2 电容式传感器测量电路 (一) 等效电路 (二) 测量电路 (3)差动脉冲宽度调制电路 利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化 通过低通滤波器就能得到对应被测量变化的直流信号 优 点 采用直流电源，其电压稳定度高 不存在稳频、波形纯度的要求 也不需要相敏检波与解调等 对元件无线性要求 经低通滤波器可输出较大的直流电压 对输出矩形波的纯度要求也不高 (4) 运算放大器式电路 最大特点：能克服变极距型电容传感器的非线性 3-3. 电容式传感器的误差分析 (1) 温度对结构尺寸的影响。 (2) 电容电场的边缘效应。 (3) 寄生与分布电容的影响。 (1) 温度对结构尺寸的影响 电容式传感器的温度误差主要是由于构成传感器材料不同，有不同的温度膨胀系数引起的。 措施：从选材、结构、加工工艺 方面减 小温度误差、保证高的绝缘性能。 电极：温度系数低的铁镍合金、陶瓷或石英上喷镀 金或银(电极可做得薄，减小边缘效应） 电极支架：选用温度系数小和几何尺寸长期稳定性好，并具有高绝缘电阻、低吸潮性和高表面电阻的材料，例如石英、云母、人造宝石及各种陶瓷等做支架 电介质 ：空气或云母 （介电常数温度系数近为0） 工艺：传感器密封，用以防尘、防潮 采用差动结构、测量电路来减小温度等误差 (2) 电容电场的边缘效应 边缘效应相当于传感器并联一个附加电容 危害：灵敏度降低， 产生非线性 措施： 1. 增大初始电容量，即增大极板面积，减小极板间距。 2. 加装等位环 等位环 结构 (3) 寄生与分布电容的影响 寄生电容：传感器除极板间电容外，极板与周围物体也 有电容联系，这种电容称为寄生电容。 危害：改变了电容传感器的电容量，寄生电容不稳定导致传感器特性不稳定，对传感器产生严重干扰。 措施：（a）静电屏蔽和接地。 （b）增加初始电容值，降低容抗。 （c）导线间分布电容有静电感应，因此导线和导线 要离得远，线要尽可能短，最好成直角排列， 若采用平行排列时可采用同轴屏蔽线。 （d）尽可能一点接地，避免多点接地 （f） 驱动电缆技术 (5) 差动技术的运用 减小非线性误差 提高传感器灵敏度 减小寄生电容的影响 温度、湿度等环境因素的影响 §3. 4 电容式传感器的应用 电容式位移传感器（液位、料位） (2) 电容式加速度传感器 (3)电容式差压传感器