纳米硅薄膜的镜反射红外光谱研究-仪器谱.docVIP

纳米硅薄膜的镜反射红外光谱研究 赵涛 张毅 陈英颖 上海宝钢股份有限公司 分析测试中心 ,上海 201900 吴则嘉 刘晓晗 杨晟远 张林春 上海维安新材料研究中心有限公司 ，上海201900 摘要:研究探讨了镜反射红外光谱在纳米材料方面的应用。通过等离子化学气相沉积法（PECVD），制备本征和掺磷的纳米硅薄膜(nc-Si:H)，利用镜反射红外光谱研究了本征和掺磷的纳米硅薄膜的光谱特征，通过实验发现这两种薄膜中都存在多氢键合方式，PECVD工艺参数如衬底温度、直流电压、化工等领域的有机物质的官能团结构分析。样品制备方面，一般以液体、粉末和气体为主，对于某些特殊样品 下面是V