真空泵及有关术语.doc

真空泵 vacuum pumps1-1.容积真空泵 positive displacement pump：⑴.气镇真空泵 gas ballast vacuum pump：⑵.油封（液封）真空泵oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump：⑶.干封真空泵 dry-sealed vacuum pump：⑷.往复真空泵 piston vacuum pump：⑸.液环真空泵 liquid ring vacuum pump：⑹.旋片真空泵 sliding vane rotary vacuum pump：⑺.定片真空泵 rotary piston vacuum pump：⑻.滑阀真空泵 rotary plunger vacuum pump：⑼.余摆线真空泵 trochoidal vacuum pump：⑽.多室旋片真空泵 multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump：⑾.罗茨真空泵 roots vacuum pump：1-2.动量传输泵 kinetic vacuum pump：⑴.牵引分子泵molecular drag pump：⑵.涡轮分子泵turbo molecular pump：⑶.喷射真空泵ejector vacuum pump：⑷.液体喷射真空泵liquid jet vacuum pump：⑸.气体喷射真空泵gas jet vacuum pump：⑹.蒸汽喷射真空泵vapor jet vacuum pump ：⑺.扩散泵diffusion pump ：⑻.自净化扩散泵self purifying diffusion pump：⑼.分馏扩散泵 fractionating diffusion pump ：⑽.扩散喷射泵diffusion ejector pump ：⑾.离子传输泵ion transfer pump：1-3.捕集真空泵 entrapment vacuum pump：⑴吸附泵adsorption pump：⑵.吸气剂泵 getter pump：⑶.升华（蒸发）泵 sublimation (evaporation)pump ：⑷.吸气剂离子泵getter ion pump：⑸.蒸发离子泵 evaporation ion pump：⑹.溅射离子泵sputter ion pump：⑺.低温泵cryopump：2.真空泵零部件2-1.泵壳 pump case：2-2.入口 inlet：2-3.出口outlet：2-4.旋片（滑片、滑阀）vane; blade ：2-5.排气阀discharge valve：2-6.气镇阀gas ballast valve：2-7.膨胀室expansion chamber：2-8.压缩室compression chamber：2-9.真空泵油 vacuum pump oil：2-10.泵液 pump fluid：2-11.喷嘴 nozzle：2-13.喷嘴扩张率nozzle expansion rate：2-14.喷嘴间隙面积 nozzle clearance area ：2-15.喷嘴间隙nozzle clearance：2-16.射流jet：2-17.扩散器diffuser：2-18.扩散器喉部diffuser thoat：2-19.蒸汽导管vapor tube(pipe;chimney)：2-20.喷嘴组件nozzle assembly：2-21.下裙skirt：3.附件3-1阱trap：⑴.冷阱 cold trap：⑵.吸附阱sorption trap：⑶.离子阱ion trap：⑷.冷冻升华阱 cryosublimation trap：3-2.挡板baffle：3-3.油分离器oil separator：3-4.油净化器oil purifier：3-5.冷凝器condenser：4.泵按工作分类4-1.主泵main pump：4-2.粗抽泵roughing vacuum pump：4-3.前级真空泵backing vacuum pump：4-4.粗（低）真空泵 roughing(low)vacuum pump：4-5.维持真空泵holding vacuum pump：4-6.高真空泵high vacuum pump：4-7.超高真空泵ultra-high vacuum pump：4-8.增压真空泵booster vacuum pump：5.真空泵特性5-1.真空泵的抽气速率（体积流率）s volume flow rate of a vacuum pump：