[工程科技]现代导航技术第七章MEMS陀螺.pdf

现代导航测试技术 Measuring and Testing Technique for Modern Navigation System 主讲：赖际舟 副教授 南京航空航天大学导航研究中心 办公电话：025807 办公电话：025807 手机 手机 导航研究中心网页： 导航研究中心网页： 1 Email：Laijz@ Email：Laijz@ 第七章MEMS 陀螺仪 §7.1 MEMS技术概述 §7.1 MEMS技术概述 §7.2 MEMS陀螺仪的工作原理 §7.2 MEMS陀螺仪的工作原理 2 第七章MEMS 陀螺仪 §7.1 MEMS技术概述 §7.1 MEMS技术概述 3 §7.1 MEMS技术概述 §7.1 MEMS技术概述 一、MEMS技术发展的需求背景 对传统惯性仪表的设计和制造，在价值工程和自动化 等方面付出了许多努力，并取得了显著成功，但成本仍然 很高，主要原因是: (1)零件数量多; (2)许多零件要求高精度公差; (3)复杂和精密的装配技术; (4)精确的测试、特性表征和标定。 4 §7.1 MEMS技术概述 §7.1 MEMS技术概述 一、MEMS技术发展的需求背景  需要用低成本敏感器测量加速度和角运动的应用需求， 极大地刺激了微型加工机电系统敏感器(简称微型敏感器) 的发展。  微型器件是过去25年惯性敏感器最可喜的发展之一。这 些器件克服了阻碍着许多潜在应用中采用惯性系统的众 多障碍，尤其是成本、尺寸和功耗在成为制约因素的应 用场合。 5 §7.1 MEMS技术概述 §7.1 MEMS技术概述 二、什么是MEMS技术？  MEMS（Micro Electro-Mechanical Systems）  1980年代中后期以来，随着微电子、精细加工等技术和 制造工艺的成熟，MEMS技术得到了快速的发展。  MEMS技术的发展直接推动着微型传感器的产生、发展和 应用。采用MEMS技术的惯性传感器——微加速度计和微 陀螺是一类重要的应用广泛的微传感器，直接促进惯性 导航系统向微小型化发展。 6 §7.1 MEMS技术概述 §7.1 MEMS技术概述 二、什么是MEMS技术？  MEMS惯性传感器采用腐 (1)尺寸小; 蚀、光刻等集