薄膜制备与分析课堂讲稿(第二讲).pptVIP

第二讲 真空获得与真空测量 第二讲 真空获得与真空测量 l.真空获得 抽真空设备 ① 机械泵 ② 罗茨泵 ③ 扩散泵 ④ 分子泵 ⑤ 离子泵 ⑥ 升华泵 抽气能力(极限真空度) 大气105 Pa ~ 1 Pa 5 Pa ~ 10-6 Pa 5 Pa ~ 10-8 Pa ~ 10-10 Pa 10-3 Pa ~ 10-12 Pa 10-3 Pa 104 Pa ~ 10-2 Pa 104 102 1 10-2 10-4 S Pa 抽速升/秒 机械泵 罗茨泵 分子泵 扩散泵 ①机械泵的工作原理 由玻意耳定律： n个循环后： 当 则 但存在有害空间，所以存在极限 Pm 抽速 (升/秒) 因有害空间，所以实际抽速为: 当 时， 有害空间 ②扩散泵的工作原理 根据流速大处气压小的原理，靠油蒸汽射流携带气 体分子，再通过机械泵将气体排出。 气压小 真空室 接机械泵 加热器(电炉) 扩散泵油 冷阱 冷却水管 ③分子泵的工作原理 通过高速旋转的涡轮叶片，不断地对气体分子施以定向的动量和压缩作用。 涡轮叶片 高速旋转 ④离子泵的工作原理 钛阴极 钛阴极 不锈钢阳极 高压5千伏 磁场1-2千伏 气体分子电离 a. 钛阴极板收集离子； b. 溅射出来的钛原子 吸收气体分子。 抽气原理： ⑤升华泵的工作原理 对钛丝或钛球通电加热使钛升华。 因大面积上充分升华钛，所以能获得大的抽气速率。 2.真空测量 真空测量规管： ①热电偶规管(真空计)-----低真空测量 ②电离规管(真空计)-----高真空测量 测量范围：10 ～ 1 Pa (在此范围测量精确) 测量范围：10-1 ～ 10-6 Pa 热电偶工作原理： 任何两根不同的金属如镍-康铜、铜-康铜、铂-铂 铑等，当其两个接头的温度不同时，出现温差电动势： 热电偶中间导体定律： 在热电偶回路中，加入一根中间导体，只要中间导 体两端的温度相同，就不会影响热电动热。 ①热电偶规管的工作原理 mA mV K 加热灯丝 玻璃管半经r1 Pt 接真空室 在低压强下气体的热传导与压强成正比关系. 总热量的散失： 辐射热 灯丝两端支撑的传热 气体分子碰撞灯丝而带走的热量 显然： Q1和Q2与压强P无关; 只有Q3与压强P有关; 压强P↑,碰撞次数↑,Q3↑,从而灯丝温度变化越大。 粗真空下：l自由程 r1管半经→Q3 起主导作用 但Q3与压强P关系微弱 ∴ 不能测准。 低真空下：l自由程≈r1管半经→ 仍有 Q3＞ Q1+ Q2 Q3与压强P成正比 ∴ 能测准。 高真空下：l自由程 r1管半经→Q3 很小,即Q3Q1+Q2 Q3与压强P关系弱 ∴ 不能测。 ②电离真空规管的工作原理 K + - d 灯丝(阴极) 栅极(加速极) 接真空室 + 离子收集极 离子收集极得到的离子流； 加速极上得到的电子流。 假设： 电子自由程 而 (电离规管的特征方程) 当P5Pa：氧化； 当P1×10-1Pa较高真空：电离达到平衡→饱和→不能测 当P10-6Pa超高真空：高速电子打到加速极上→产生软X 射线→X射线打到离子收集极上→产生光电子发射→导致离子流增加→形成虚假的离子流Ii， ∴不能测 ∴ 电离规管的测量范围：l0-1Pa～l0-6Pa 第二讲 真空获得与真空测量