[教育]第四章 常用传感器基本原理与参数测试.ppt

第四章 常用传感器原理与参数测试 1 概述 2 电阻式传感器 3 电容式传感器 4 热电式传感器 5 光电式传感器 6 半导体磁效应传感器霍尔传感器 1 概述 传感器定义：传感器是一种能将特定的被测信息（物理量、化学量、生物量等），按一定规律转换成某种可用输出信号的器件。 智能传感器：传感器与微处理器相结合所形成的不仅具有信号检测功能，而且具有信息处理功能的传感器系统 分类： 按输入量：温度、压力、流量、位移等 按输出量：电压、电流、电荷、电阻、电感、电容等 考虑传感器的输入-输出对应关系： 静态特性：静态输入信号 动态特性：动态输入信号 传感器静态特性 （1）灵敏度与信噪比 灵敏度：传感器输出量的变化值与相应被测量(输入量)的变化值之比 描述传感器的输出量(一般为电学量)对输入量(一般为非电学量)敏感程度 传感器校准曲线的斜率即为灵敏度。对线性传感器来说，灵敏度是一个常数；非线性传感器的灵敏度则随输入量变化 灵敏度高的传感器不一定是最好的传感器。这是因为它易受噪声的影响。 S／N小，信号与噪声就难以分清。 （2）线性度 传感器的输出—输入校准曲线与理论拟合直线之间的最大偏差与传感器满量程输出之比，也称“非线性误差”、 “非线性度”。通常用相对误差表示其大小： 最小二乘法原理： 设拟和的直线为 ，第j个测量点的输出 与拟和直线上的相应值的偏差为 ，最小二乘法拟和直线的原则就是使N个点的均方差 为最小值，即一阶偏导等于零 可得到b和k的值。 （3）灵敏度界限(阈值) 输入变小，输出也变小。但一般来说，输入小到某种程度，输出就不再变化了，这时的输入叫做灵敏度界限。 （4）迟滞差 输入逐渐增加到某一值，与输入逐渐减小到同一输入值时的输出值不相等，叫迟滞现象。迟滞差表示这种不相等的程度。其值以满量程的输出的百分数表示。 传感器的动态特性 研究传感器动态特性的方法是： 当输入信号是阶跃函数时，用瞬态响应法，即用时域范围内，响应曲线的上升时间、响应时间、过调量等参数作为评定指标； 当输入信号是正弦函数时，用频率响应法，其重要指标是频带宽度（带宽）。 2 电阻式传感器 电阻式传感器是一种将非电量参数(如压力、拉力、扭力、位移等)的变化转变为电阻值变化的传感器。 按工作原理可分为电位器式电阻传感器、应变式电阻传感器、热敏电阻传感器和气敏电阻传感器。 应变式电阻传感器： 是一种能将机械构件上应变的变化转换为电阻变化的传感元件。电阻应变片的工作原理基于金属的应变效应。 金属应变效应是指金属导体的电阻随着它所受机械变形(伸长或缩短)的大小而发生变化的现象。 令 为电阻丝轴向相对伸长，即轴向应变；而 则为电阻丝径向相对伸长，即径向应变。两者的比例系数即为泊松系数 ，且力的方向相反(以负号表示)，即 应变式电阻传感器的种类及选用 （1）电阻丝式应变片：增大阻值制成栅状 （2）箔式应变片：光刻、腐蚀等工艺制成，很薄 厚度0.003-0.01mm之间。面积大、散热好允许通过 较大电流。应力与实际接近。 （3）半导体式应变片：单晶硅施加一定载荷其电阻 率变化。灵敏度高（金属式的50倍）温度系数大， 灵敏系数非线性严重。 电阻应变片主要参数： （1）电阻值：未安装、不受外力、室温时测的电阻值 标准化，60、120、350、600、1000。 （2）绝缘电阻：敏感栅与基地间的电阻值。 （3）灵敏系数k：轴线方向施加应力，阻值相对变化与应变之比。关键参数，尽量大且稳定。 （4）允许工作电流：不影响测量准确度的最大工作电流。25mA。 （5）应变极限：一定温度时指示应变与实际应变值之差不超过允许值（如10%）时的最大真实应变数值。 （6）机械滞后：温度一定，增加和减小机械应变过程中同一应变量指示应变最大差值。 （7）零点漂移：温度一定，无应变时，指示应变随时间的变化。 （8）蠕变：温度一定，承受一定的应变时指示应变随时间的变化。 选择和使用应变片的注意事项： （1）应变片适合阻值变化较小的场合。灵敏度高。阻值较大时刻选用电位器式电阻传感器。 （2）尽量选用灵敏度大的应变片，且k尽量为常数。 （3）温度系数小。 （4）黏合剂的选择和粘贴技术：处理表面（打磨、酒精擦洗）、502