[自然科学]光学薄膜及其应用.pptVIP

光学薄膜及其应用 主要内容： 薄膜光学的理论基础 几类膜系的设计 增透膜 高反膜 干涉滤光片 光学薄膜自动设计 光学薄膜的应用 光学仪器上的应用 与太阳能相关的应用 在彩色的合成和还原方面的应用 在通信方面的应用 光激发薄膜(Optically Active Thin Films)的应用 光学薄膜的进一步发展 薄膜光学的理论基础 几类膜系的设计 增透膜 高反膜 干涉滤光片 光学薄膜自动设计 光学薄膜的应用 光学仪器上的应用 与太阳能相关的应用 在彩色的合成和还原方面的应用 在通信方面的应用 光存储薄膜 马赛克滤光薄膜 复用/去复用薄膜 光激发薄膜(Optically Active Thin Films)的应用 光学薄膜的进一步发展 进一步提高反射率 提高薄膜的抗激光损伤阈值 继续提高或改善光通信薄膜的性能如稳定性，消色散等 在投影显示中要研制宽角反射、透射薄膜 工业应用中要求满足大面积，高沉积速率 * * 主读参考书： 1) Rolf E. Hummel, Karl H. Guenther, Handbook of optical properties, Volume I, Thin Films for Optical Coatings, CRC press, 1995 2)?Ronald R. Willey, Practical design and production of optical thin films, Marcel Dekker, Inc.,1996 3) 唐晋发，郑权编著，应用薄膜光学，上海科学技术出版社，1984 薄膜的光学导纳 两种介质面之间的菲涅尔反射系数 对于倾斜入射时的菲涅尔系数为： 反射率和透射率分别为： 对于镀有单层薄膜的菲涅尔系数为： r t 多层薄膜的菲涅尔系数递推法示意图 由矩阵法求得的菲涅尔系数表达式为 ： c和a由下列矩阵关系式决定 膜层的光学厚度为入射光波长的四分之一 膜层的折射率大小满足 单层增透膜{ 非理想增透时： 为四分之一波长薄膜与基底组合的等效折射率 当镀上一层λ0/4的薄膜后，对波长λ0来说，薄膜和基片组合的等效导纳为 理想增透条件{ 两层膜的光学厚度都是λ0/4 λ0/4- λ0/4 结构-----?V字型曲线 λ0/4- λ0/2 结构-----?W型曲线 图例 图例 双层增透膜 正如双层增透膜的特性比单层增透膜要优越得多，三层或更多层的增透效果也要比双层增透膜要好得多。有时即使是一个理想的双层膜，还是会形成过大的反射率或不适宜的光谱带宽度。采用多层增透膜可以看成是λ0/4-λ0/2W形膜和λ0/4-λ0/4V形膜的改进形式，既能达到低反的要求，又能达到宽带的要求。 三层或多层增透膜 规整薄膜与基片的组合导纳 单层膜： 奇数层多层膜： 偶数层多层膜： 规整的多层膜反射率为 奇数层 偶数层 从理论上说有S?∞，R?100% 反射带宽 g=λ0/λ 截止滤光片 带通滤光片 截止滤光片的构型 长波通 短波通 截止滤光片通带纹波的压缩 选取适当的组合膜，使其通带内的等效折射率与基片相接近(由于实用的薄膜材料有限，对不同基片材料，不一定能找到合适的等效折射率) 改变基本周期内的膜层厚度，使其等效折射率变到更接近的预期值(对低折射率材料基底，这种方法比较有效) 在多层膜的每一侧加镀匹配层，使其同基底以及入射介质匹配(若匹配层的厚度为1/4波长，则在基片与多层膜之间匹配的导纳为(ηgE)1/2，在入射介质与多层膜之间匹配导纳为(η0E)1/2，这种方法最为常用 举一例 带通滤光片 法布里-珀珞标准具和它的薄膜形式 金属膜或介质膜 当反射膜没有吸收、散射损失，而且反射膜完全对称时，有Tmax=1 当有吸收、散射损失时 法布里-珀珞标准具的峰值透过率 多半波滤光片 结构形式： 反射膜/间隔层/反射膜/间隔层/反射膜 有几个间隔层就是几半波滤光片,通常在串接的两个法布里-珀珞滤光片之间插入一个λ/4层作为耦合层 如： [HL]2H 2L H[LH]2 L [HL]2H 2L H[LH]2 特点： 可以在整个波段上全面考虑设计要求 薄膜层数要比解析设计的少得多 拟合目标的程度也比解析设计的好 薄膜的厚度往往是不规整的 自动合成法 渐进法 减去法 傅里