PECVD机械臂介绍.pptVIP

* 单击此处编辑母版文本样式 第二级 第三级 第四级 第五级 * * PECVD工序设备机械臂ARM 机械臂ARM 传动系统示意图 机械臂ARM 传动系统实体 机械臂ARM原点控制电路 机械臂ARM电机控制电路 机械臂ARM控制原理总图 机械臂ARM 传动系统故障分析及解除 P3 P4 P5 P6 P7 P8-17 1 2 3 4 5 6 M52编码器 M51编码器 M52电机 M51电机 抓手 M52电机 M51电机 Boat 感应传感器颠片 Boat collection Boat collection 原点sensor 1 原点sensor 2 To paddle roll To storage roll To storage belt To paddle belt wslgr 数据线 滑块 * motor M52 motor M51 * 伺服电机 变速齿轮箱 增量编码器 扭矩输出轴 器件:motor 51(52) 故障分析及解决: 1.扭矩输出轴变形或断裂:更换新motor 2.伺服电机无法工作或工作不正常:更换新motor 3.变速齿轮箱输出异常:更换新motor 4.增量编码器损坏或工作异常:更换新motor * 器件:同步轮 1.锁紧螺丝变形或断裂:更换新的锁紧螺丝 2.同步轮变形或啮齿打滑:更换新同步轮 锁紧螺丝 同步轮 故障分析及解决: * 器件:同步带 1.同步带变形或断裂:更换新同步带 2.同步带啮齿打滑:更换新同步带 同步带 故障分析及解决: * 器件:ARM移动导轨以及滑块 1.移动导轨有较严重表面损伤,变形或断裂:更换新移动导轨 2.移动滑块滑动不顺畅,卡死或影响正常工作状态:滑动不顺畅可以清理移动导轨或滑块的接触面,加润滑脂,严重的更换新移动滑块 移动导轨 移动滑块 故障分析及解决: * 器件:原点传感器 LED灯无变化或变化信号不稳定:变化信号不稳定可以调整挡块和传感器的距离和感应面积,信号无变化则需要更换新的原点传感器. 原点传感器 故障分析及解决: * 器件:LVP1 1.原点传感器1(+L-B101)没有电源:查看LVP1点X4:1,2 2.原点传感器1 (+L-B101)没有控制信号:查看LVP1点X4:9 3.Sensor loading lock没有电源:查看LVP1点X5:4,5 4.Sensor loading lock没有控制信号:查看LVP1点X5:6 故障分析及解决: * 器件:LVP2 1.原点传感器2(+L-B11)没有电源:查看LVP1点X3:1,2 2.原点传感器2 (+L-B11)没有控制信号:查看LVP1点X3:9 故障分析及解决: * 器件:loading lock传感器 机械臂无法锁定:更换loading lock sensor 故障分析及解决: * 器件:BERGHOF RDC2 1.机械抓手1电机没有电源驱动:查看RDC2 X6:104,105 2.机械抓手2电机没有电源驱动:查看RDC2 X6:107,108 3.机械抓手1电机编码器没有电源:查看RDC2 X11:4 4.机械抓手1电机编码器没有电源:查看RDC2 X12:4 5.机械抓手移动原点1和2信号丢失:查看RDC2 X33:25,13 故障分析及解决: * 器件:连轴器 1.两边抓手到paddle移动轴的距离不同(抓取石墨舟时着手点不同):松开连轴器的锁紧螺丝,用直尺分别测量两抓手离同一paddle 移动轴的距离为一致,锁好锁紧螺丝. 2.连轴器啮合处力矩传输不正确(打滑等):更换新的连轴器.(注意保持两抓手距离一致性) 故障分析及解决: * * * 单击此处编辑母版文本样式 第二级 第三级 第四级 第五级 * * *