低温真空热处理锡-铋合金表面成长石墨烯结构-YOKE.PDFVIP

低溫真空熱處理錫-鉍合金表面成長石墨烯結構 陳孝綸 ，朱佑陞 ，薛柏彥 ，張騰溎 ，彭坤增 明志科大材料工程系 摘要 錫-鉍合金表面鋪灑高純度的奈米碳管，於真空(5×10-3 Torr.)管狀爐中，以低溫 150℃熱處理 2 小時使表面 的碳原子擴散至基材，奈米碳管將固溶入基材內，於冷卻時析出類磊晶石墨烯之結構沉積於基材表面，拉曼分 -1 -1 -1 析中由三個波鋒 1330 cm (D 峰) 、1588 cm (G 峰) 、2672 cm (2D 峰)得知為石墨烯結構， X- 光繞光譜知其結 構有分別有 Sn 、Bi 、C 特徵峰值出現，說明表面有石墨烯結構但基材內並不產生合金相，橫截面 SEM觀察錫 - 鉍合金基材有偏析現象與晶粒細化現象，相較於常用的化學氣相沉積（Chemical vapor deposition ）所製備之石 墨烯，此方法可在低溫氛圍下製備，大幅度減少熱處理成本及等待時間。 關鍵詞：石墨烯、 Sn-Bi 、真空管狀爐、維克氏硬度 通訊作者：陳孝綸 e-mail: mail2.mcut.edu.tw 1. 前言 溫的關係耗資的成本還是很高，希望降低製程設備成 錫-鉍合金近期普遍應用於於無鉛銲料使用的選 本以低溫 150℃製備石墨烯。 項之一 ，常用的有 58Bi-42Sn[1]與 95Bi-5Sn[2] ，但當 實驗發現在錫鉍合金表面鋪灑奈米碳管，在真空 鉍含量超過 3wt%則熔點高於共晶溫度。此共晶溫度 的環境下持溫 150℃、兩小時後，表面的碳確實可滲 比傳統 63wt%Sn-37wt%Pb高出約 10℃。使得此銲錫 入基材造成表面硬化的效果 ，除此之外觀察到錫鉍合 合金呈現易氧化與亦遭環境腐蝕的現象，加入鉍元素 金在此溫度與時間下 ，基材會產生明顯有連續網絡狀 會增加其抗腐蝕性及降低熔點，使熔點降至與 Sn-Pb 共晶組織。 合金相近，適合低價位產品的製程，但因為具有容易 氧化的特性。此外鉍具有降低表面張力的性質，少量 1. 2. 實驗方法 的添加能使擴散性增強，在耐疲勞特性跟高溫銲材上 備製錫-鉍合金使用錫(99.9%) 、鉍(99.9%) 以事先 都比傳統錫鉛合金優越 [3,4] 。 以 6 ：4 比例配置，在負壓的小型熔煉爐 ，熔煉出最低 錫-鉍二元合金是市面上常見的低溫無鉛銲料之 熔點 (139℃)的錫 -鉍合金，再將其表面均勻鋪灑高純 一，而銅和金常分別用於印刷電路板中的基層材料與 度的奈米碳管移至真空高溫爐內。製程參數如下列呈 電鍍材料，也是覆晶 (flip chip)製程[5,6]中主要的凸塊 述：真空背壓抽至(5×10-3 Torr.)管狀爐中，升溫速率 下金屬化 (under bump metallurgy)的金屬層材料。錫鉍 15℃/min 、恆溫時間2 小時、恆溫溫度 150℃，經過高 合金應用在模具的修補或製造上技術層次上已無多大 於熔點溫度加溫後 ，錫 -鉍合金表面轉變為半熔融態， 的難處 ，不可否認的是當模具在高溫高磨耗的環境下 ， 合金從高溫冷卻時，若高溫長時間停置時，將會造成 表面低強度特性是錫鉍合金的缺點；然而 ，錫目前製 晶粒大幅粗大，使奈米碳管均勻地擴散進基材內部形 備石墨烯的方法，是以高溫 900℃化學氣相沉積 成石墨烯，熱處理後進行拉曼光譜[8]分析表面擴散層 （Chemical vapor deposition ）在銅或鎳表面沉積[7] ， 碳的種類、 X-Ray （PAN analytical X Pert-Pro MP