气液混合蒸发控制系统-BronkhorstUSA.PDF

CEM 气液混合蒸发控制系统 液体流量控制 载气控制 液体 （如下液体选作参考） • ETOH • SnCl4 • TiCl4 CEM • HMDSO • TCA • TMB 气液混合室配换 • HMDSn • TEOS • Water 热器，以实现完全 • SiHCl • TIBA • Zn(C H ) 蒸发。 3 2 5 2 • SiH Cl 3 • Cupraselect™ • 有机化合物（例如丙酮、乙醇、丁 醇、有化乙醇、己烷、甲醇等） 简介 载气混合阀（M）融为一体。随后形成的混合物被引入蒸发器以实 很多生产工艺中，需要两种或多种组分一起混合。实例中，一般采 现整体蒸发（E）。以上诠释了CEM的定义: 控制-蒸发-混合，此为 用传统的发泡系统和新兴的蒸汽源控制器以实现液体在载气里蒸 液体输送系统的三个基本功能。 发。然而这些设备对低蒸汽压下液体处理量不够，或存在瑕疵。此 外，它们无法根据蒸汽压力实时混合蒸发。 一套完整的系统集成了CEM操控所必需的读数/控制单元和电源。 Bronkhorst据此研发了独特的专利系统： CEM液体输送系统，创新 特性 实现质量流量的蒸发控制。可适用于大气压、加压和真空过程，液 u精准控制气液混合 体蒸发流量从0.25到1200g/h等值水；其它大部分液体的最大处理量 u快速响应 甚至更高。 u复产高效 u极稳定的蒸汽流 概述 u气/液比灵活选择 室温条件下，把TEOS （四乙基原硅酸盐）、HMDSO （六甲基二硅 u工作温度低于传统系统 TM uPC/PLC控制（RS232/现场总线）可选 醚）、Cupraselect 、水等液体，从被惰气层或膜覆盖的容器中抽 TM TM 出，通过μ-FLOW、LIQUI-FLOW 或mini CORI-FLOW 系列测量其流 量。所需流量由控制阀（C）通过设定点实现，该阀和专利的液体/ 技术参数 CEM系统的设置通常包括： 1) 气体质量流量控制器 用于测量和控制载气流量，载气用量取决于应用工况，例如（ 流量范围、液体、压力、温度）。我们建议一个最小载气流量 以确保可以将液体从混合阀输送到换热器（见下图）。为避免系 统产生较大的差压，1000W的CEM，气体流量应限制在约100 l /