开始提供新开发的高质量Au蒸镀材料SJeva样品.PDFVIP

【报道相关单位】 2018 年1月10 日 田中控股株式会社 开始提供新开发的高质量Au 蒸镀材料“SJeva”样品 成功减少了产品中的非金属夹杂物 在半导体及医疗设备用途上，有助于提高生产效率和降低成本 田中控股株式会社（总公司：东京都千代田区、执行总裁：田苗 明）宣布田中贵金属集团旗下经 营制造事业的田中贵金属工业株式会社（总公司：东京都千代田区、执行总裁：田苗 明）开始提供 新开发的高质量Au 蒸镀材料“SJeva”样品。由于本蒸镀材料与过去的产品相比纯度更高，所以可以 通过减少贵金属使用、减少工序提高生产效率及降低成本，而且还可以提高回收再生性。 （※1） 本蒸镀材料通过改善制造方法，比过去产品成功实现了蒸镀材料中的非金属夹杂物 的降低。田 中贵金属工业虽然以往能生产纯度在4N （含金量99.99%）～5N （含金量99.999%）的Au 蒸镀材料， 但本蒸镀材料是进一步充实高纯度产品阵容的蒸镀材料。通过使用非金属夹杂物极少的蒸镀材料，减 少在蒸镀材料溶解时凝结在表面的污垢成分，所以无需进行清洗。此外，高纯度蒸镀材料还可缩短成 （※2） 膜前的预热时间 ，可以减少对成膜不起作用的蒸镀材料消耗，能降低成本。此外，由于本蒸镀材 （※3） 料的气体成分含量很少，有望带来抑制成膜时从蒸镀源产生的飞溅现象 的效果，在进行高速率蒸 （※4） 镀时也可减少基板上的颗粒 吸附数量。 由于本蒸镀材料具有以上的特点及优势，在半导体领域内的细微配线、MEMS，以及光学装置、LED、 医疗设备等的使用蒸镀材料制成的最终产品中，有望对提高终端用户的生产效率、降低成本做出贡献。 【高质量Au 蒸镀材料 “SJeva”（粒状）】 【“SJeva”溶解前 SEM 照片】 【“SJeva”溶解后 SEM 照片】 1/3 ■本蒸镀材料的优势 ・清洗工序的减少 通常蒸镀材料根据用途会加工成丸状、板状、带状、线状、颗粒状等各种形状，但是在蒸镀时必须进 行溶解。由于溶解时蒸镀材料中的非金属夹杂物会发生凝缩形成污垢，所以需要清洗工序。但是，由 于本蒸镀材料中的杂质非常少，无需清洗工序，可望减少工序。 ・通过缩短成膜前的预热时间降低成本 由于高纯度蒸镀材料可缩短成膜前的预热时间，可以减少对成膜不起作用的蒸镀材料消耗，能降低成 本。 ・抑制成膜时从蒸镀源产生的飞溅现象，减少进行高速率蒸镀时基板上的颗粒吸附数量 飞溅现象是在基板及成膜上引起颗粒及针孔等缺陷的，在蒸镀时发生的具有代表性的问题。此外，提 高蒸镀率的成膜在提高生产效率方面也是值得期待的领域，但是蒸镀率提高得越多越容易产生飞溅现 象，如何解决成了面临的课题。其原因是蒸镀材料料中所含的气体成分，由于本蒸镀材料通过改善制 造工序，成功地减少了气体成分，有望带来抑制飞溅现象的效果。 (※1)非金属夹杂物 ： 是指金属材料内部的氧化物、硫化物等非金属物质。 (※2)预热时间： 直至蒸镀材料溶解的预先加热时间。 (※3)飞溅现象： 一种在成膜工序中在基板及成膜上引起颗粒及针孔等缺陷的，在蒸镀时发生的具有代表性的问题。 (※4)颗粒： 是指微粒、尘埃。颗粒会引起基板的特性及可靠性降低、产量下降。 2/3 ■田中控股株式会社（统筹田中贵金属集团之控股公司） 总公司：东京都千代田区丸之内2-7-3 东京大楼22F 代表：执行总裁 田苗明 创业：1885年 设立：1918年※