单晶炉操作规范(071208修订稿).pdfVIP

浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q03-JS-1 版本号：A/3 页码：第 1 页 共 23 页 单晶炉操作规范 生效日期：2007 年 12 月 12 日 1、 目的 为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。 2、 适用范围 适用于 TDR-70A/B 和 JRDL-800 型单晶炉的操作。 3 、 单晶炉操作工艺流程 作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→ 石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→ 充氩气、升功率、熔料→（二次加料、再熔料）→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→ 降功率、停炉冷却 4、 主要内容 A. 作业准备 a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。 c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛