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第九章 透射电子显微镜 王 夏 琴 电子显微分析方法的种类 透射电子显微镜(TEM)可简称透射电镜 扫描电子显微镜(SEM)可简称扫描电镜 电子探针X射线显微分析仪简称电子探针(EPA或EPMA)：波谱仪(波长色散谱仪，WDS)与能谱仪(能量色散谱仪，EDS) 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES) TEM的形式 透射电子显微镜（简称透射电镜，TEM），可以以几种不同的形式出现，如： 高分辨电镜（HRTEM） 透射扫描电镜（STEM） 分析型电镜（AEM）等等。 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。 透射电子显微镜的发展史 电子与样品的相互作用 我校的TEM 对我校TEM的说明 主要配置：????超薄切片机。 主要技术指标：? 分辨率：可倾动角±25°时，晶格分辨0.204?nm，点间距0.45?nm； ? 放大倍数：电子图象：1000?～?6×105（30档可调），选区图象：1000～3×105（25档可调）； ? 加速电压：200?kV、175kV、150kV、100kV、75kV。 主要用途：? 分析金属材料的晶体缺陷、晶界、相界等微结构；? 分析高分子材料及其复合材料的形态结构；? 微粒形状观察及其尺寸分析；? 染色体、核糖体、蛋白质、血红蛋白、细菌等的形状观察。 一些电镜图片 透射电镜和光学显微镜的比较 透射电镜的工作过程与光学显微镜类似。在光学显微镜中，聚焦后的可见光射向样品，穿过样品的光经过物镜、目镜等光学系统聚焦后被眼睛接收。 而在电子显微镜中，可见光由电子枪发射出来的电子束所代替，在阳极加速电压的作用下，电子经过2、3个电磁透镜会聚为电子束，用来照明样品薄片（电子的穿透能力很弱，因此样品必须很薄）。 穿过样品薄片的电子携带了样品本身的结构信息，经物镜、中间镜和透射镜所组成的成像系统的接力聚焦放大最终以图像或衍射谱的形式显示于荧光屏或感光材料。? 光学显微镜和透射电镜光路图 第一节 透射电子显微镜工作原理及构造 一、工作原理 成像原理与光学显微镜类似。 它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束，透射电子显微镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透镜，在电子显微镜中相应的为磁透镜。 由于电子波长极短，同时与物质作用遵从布拉格（Bragg）方程，产生衍射现象，使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时兼有结构分析的功能。 透射电子显微镜光路及成像示意图 二、构造 TEM由照明系统、成像系统、记录系统、真空系统和电器系统组成。 1. 电磁透镜 能使电子束聚焦的装置称为电子透镜（electron lens） 静电透镜 电子透镜 恒磁透镜 磁透镜 电磁透镜 （1）电磁透镜的结构 电磁透镜结构示意图 （2）电磁透镜的光学性质 式中：u、v与f——物距、像距与焦距。 式中：V0——电子加速电压；R——透镜半径；NI——激磁线圈安匝数；A——与透镜结构有关的比例常数。 电磁透镜是一种焦距(或放大倍数)可调的会聚透镜。减小激磁电流，可使电磁透镜磁场强度降低、焦距变长(由f1变为f2 ） 。 成像电子在电磁透镜磁场中沿螺旋线轨迹运动，而可见光是以折线形式穿过玻璃透镜。因此，电磁透镜成像时有一附加的旋转角度，称为磁转角?。物与像的相对位向对实像为180???，对虚像为?。 （3）电磁透镜的分辨本领 式中：A——常数；?——照明电子束波长；Cs——透镜球差系数。 ?r0的典型值约为0.25~0.3 nm，高分辨条件下，?r0可达约0.15 nm。 2. 照明系统 作用：提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明电子束。 组成：电子枪和聚光镜 钨丝 热电子源 电子源 LaB6 场发射源 热电子枪示意图 灯丝和阳极间加高压，栅极偏压起会聚电子束的作用，