低成本扁平电感型精密位移传感器.pdfVIP

， 。 ， ‘ 现代计量测试 l996年第 4期 低成本扁平电感型精密位移传感器 、； P．H渤bam等 胡许 一， 1．引曹 是扁平的，不是圆的。其次，在FIS中耦 合的 利用一组线 圈的电感变化米测 量位移是众 变化是靠初级激励线圈相对于次级位置检测线 所周知的，井 已广泛论证过。最为常见的结构 圈的移动米实现的，没有磁性材料电枢。 图2 是，电感 传 感 器 (线 性 可 调 差 接 变 压 器 (a)示出线圈系统的构造，图 2(b)是线圈安 LVDT)是圆柱状 的，井用一个可动的磁性 装时的剖面 图。 材料电枢来改变双线 圈系统的电感 比，如 图l 本设计的一个重大不同是增加 了磁屏蔽。 所示 (略)。这种位移传感 器存在许多改型， 在线 圈密封之前在每个线 圈的外围加 一 个lm 在线圈形状和有关信号调整 电路的设计研制方 m厚的软钢板壳子，它起的实际作用是。 面，已取得 了很大的进展。本文描述一种最新 — — 消除来 自附件的金属零件和支架的涡 研制的一维位移传感器，其中增加 了相敏检波 流效应， 以提高传感器的性能。精密试验表 明，这种传 — — 减小由外部源的交变磁场摩应的附加 感器样机的位移检测范围为~Smm (测试值)， 输 出电压 ， 非线性误差在 ±0．2 之 内。系 统 重 复 性 是 — — 减小FIS周围的磁通泄漏，因而提高 5m标准偏差。 灵敏度J 2．设计考虑 — — 提高机械强度和使用寿命。 扁平电感型传感器 (FIS)的构造与常见 两个部件 (可移动的和固定的)均用环氧 的LVDT有两个主要不同。首先，线圈 结 构 树脂罐封，以提高防腐蚀能力，增强机械强度 和刚性，然后把这些部件安装到发生待泓相对 位移的表面。由于环氧树脂封装 内有 一 层 屏 蔽，所 以这些表面的材料几乎不会受到什么影 响。 FIS的工作原理与传统的LVDT相同，将 一 个 已知频率的交流信号加到初级线圈以提供 激励，次级线圈连接成推挽结构 以获得差动输 出。在本装置 中，当初级线圈置于两个次级线 初级线圈 次级线圈 圈之 间的中央位置 (如 图2b所示)时，两个次级 中的感应 电动势幅值和相位均相等，它们的差 差动}鲁出电压 值为零。当初级线圈从零位向任一 方 向 移 动 图2 扁平电感型传感器 (FIS)的结构示意圈： (8)线 时，每个次级线圈中的感应电动势都发生线性 圈系统的构造； (b) ， 安装时的剖面 图． 变化，着一个线圈中交流信号的幅值增加，另 5l 一 个线圈