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第一章1.理想气态方程普适气体常数：R=8.31J.mol-1K-1平均平动动能波尔兹蔓常数k=R/NA=1.38′10-23JK-1)分子平均自由程气体分子的平均自由程：一个气体分子在两次碰撞之间的平均距离n : 单位体积内的分子数； d : 气体分子的直径气体分子的通量单位面积上气体分子的碰撞频率，即单位面积上气体分子的通量2.真空装置真空度分区真空度：表示气体的势波强度，一个相对外界的概念，是一种不存在任何物质的空间状态。真空度可分为：低真空：?≧102Pa工业应用（包装）中真空： 102~10-1Pa CVD沉积技术高真空： 10-1~10-5Pa溅射沉积技术（pvd法）超高真空：? 10-5Pa原子表面和界面分析真空泵（了解输运方式和捕获式泵的工作压力范围）输运式：采用对气体进行压缩的方式将气体分子输送至真空系统之外捕获式：依靠在真空系统内凝集或吸附气体分子的方式将气体分子捕获，排除于真空系统之外。(机械泵，罗茨泵等低级泵获得的真空范围，前者1Pa后者10-3Pa；涡轮分子泵（10-8Pa），油扩散泵（10-5Pa）等高级泵获得高真空，）真空规（热偶、电离）（1）热偶规工作原理：气体的热导率随气体压力变化，通过热电偶测出热丝的温度，也就相应的测出了环境的气体压强。测量范围：热偶规 0.1-100Pa；特点与使用：都属低真空测量。（2）电离真空规工作原理：它由阴极