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TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的维修及调整 TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的电路图如下： 各部分电路的作用，DC Power Supply Board板是一块电源板提供射频源工作所需的各路电源，包括电子管工作的高低压。OSICLACTOR Board板提供射频源的激励信号，Q1是震荡管，Q4是推动管，Q3,Q2组成脉宽功率调节电路。V1和V2是两个输出电子管，提供所需的射频功率。其中Lv是低压变压器，机器一通电，该变压器就被通电。而BV是高压变压器，只有在需要射频输出时才被通电。Power Coupler是入射功率和反射功率检测模块。主机背面的电位器R5和R6用于矫正入射和反射功率的偏差。Test Port测试端口用于检测射频电源的工作参数。 射频电源的调整 射频电源调整的步骤如下： 关闭交流电源。 移除射频电源顶盖。 脱开射频电源和机器之间的射频电缆，并将射频电源的输出用射频电缆先接一个功率表，然后再接到一个假负载。（功率表型号：Bird 43 powermeter，假负载型号：Barker Williams Model 374） 开启交流电源。 关闭反应室的门。 按下[START/STOP Switch]开启机器。 转到手动模式，开启射频电源。 功率表将会显示射频源的功率。 将所选择的通道的[Power ADJ]功率调节旋钮，顺时针旋到底。 调节C1和C5[安装在射频电源的前面]使功率表的读数最最大（一般会超过300瓦）。警告：调节时不能拆开射频源的内顶盖，否则会有危险。 如果达不到300瓦，检查震荡器的输出或则更换功率电子管（机器正常工作时功率能达到400瓦左右）。 再按一次[START/STOP Switch],关闭机器 关闭交流电源。 重新将射频源用射频电缆连接到机器。 装回射频源的顶盖。 至此机器可以正常使用了。 振荡器输出及功率电子管的检测和更换 用示波器检测OSCILLATOR Board 板上的Q1的C极波形幅度应该到4Vp-p左右，达不到可以更换Q1或检测外围电路。 检测Oscillator Board板上C7两端的波形幅度应该在20Vp-p左右，达不到可以调节板上的C5和C9，对应的顶盖上有开孔。 如果oscillator Board板上输出的波形幅度正常，将[Power ADJ]调至最大，功率达不到300瓦，则电子管老化需更换。 电子管工作电压有2000伏左右，所以关闭机器后，需要先给电容放电。或则等过一段时间后，才能拆卸电子管。警告：给电子管Plate极供电的电压很高，电容上的电荷泄放需要时间，或者用其它工具放电，关机后马上拆电子管会被电击，请千万注意。 射频匹配网络的调整 注意：在检查真空室所有连接都未松动及没有破碎硅片短路真空室内的电极后，方可进行如下调整。 在机器通电前确保所有气路都连接正确，并将工艺气体压力调到5PSIG，并确认真空泵工作正常。 将[Model Selector Switch]模式选择开关选装到通道1[CH1]或同道2[CH2]。具体旋转到那一路通道，视具体使用情况而定。 关闭真空室的门，然后按一下启动/停止按钮[Start/Stop Switch],将真空室抽到0.1TORR[1Torr=133Pa]以下，按一下[Gas On Button]气体开按钮。 检查气体压力，流量读数是否正常，并调节到所需的正常工作的流量。 打开真空室右侧的辅助控制门，将[Meter Selector Switch]显示表选择开关旋转到[REF]反射功率档上。 将辅助门内的C1旋钮旋转到这个位置，也就是将旋钮黑色的一半与印在面板上黑色标志的一半重合。 将C2旋钮旋转到这个位置，也就是将旋钮黑色的一半与印在面板上的黑色标志的三分之一重合。请注意重合的方向。 按一下[RF On Button]射频开按钮，将[Meter Selector Switch]显示表选择开关旋转到[FWD]入射功率档。 调节[Power ADJ]功率调节钮，让入射功率在300瓦左右。 然后将[Meter Selector Switch]显示表选择开关旋转到[REF]反射功率档，缓慢调节[CTuning]电容调谐钮（它在C1的上方），让表显示的功率值最小，记录下这时表的读数。 接下来顺时针缓慢旋转C1，让表的读数比第10步的表的读数更小。如果顺时针旋转C1时，表的读数比第10步的小，则重复这步直到[REF]的反射功率的读数在5~8瓦之间。如果顺时针旋转C1时表的读数变大，则逆时针缓慢旋转C2，将[REF]的读数也控制在5~8瓦之间。注意：C1用于精确调节匹配网络，它的最终位置会与设定的位置非常近。 如果观察到反射功率小于8瓦，则可以立即按[Complete button]完成按钮，它将复位所有