比亚迪汽车工业有限公司碳化硅衬底研发项目环境影响评价报告书（简本）.PDF

比亚迪汽车工业有限公司碳化硅 衬底研发项目 环境影响报告书 （简本） 建设单位：比亚迪汽车工业有限公司 编制单位：深圳市汉宇环境科技有限公司 2017 年9 月 比亚迪汽车工业有限公司碳化硅衬底研发项目环境影响报告书简本 （一）建设项目概况 项目背景：碳化硅为新型第三代半导体材料，与第一代半导体硅、第二代半导 体砷化镓等其他化合物半导体相比，具有禁带宽度大、击穿场强高、热导率高的特 点，所生产的功率器件具有耐压高、导通电阻小、功率密度高、开关速度快、散热 好、耐高温、抗辐射等优点，能够广泛应用于各种电力电子设备，如轨道交通电源 控制器、电动汽车电源控制器、高压输变电设备、太阳能风能等新能源电站、极端 环境传感器等。使用碳化硅元器件的电力设备，能够显著提升功率密度、降低损耗、 缩小模组体积。 碳化硅衬底由于散热好，与氮化镓晶格匹配度高，也是大功率LED 、高性能射 频器件优良的衬底材料。 比亚迪汽车工业有限公司立足于第三代宽禁带半导体材料碳化硅单晶衬底的研 发，通过前期碳化硅衬底实验室的建设，旨在攻克工艺难关，计划于2018年底 实现 4英寸导电碳化硅衬底小批量量产，并于2019年底研发成功6英寸导电碳化硅衬底技 术。为公司的轨道交通电源控制器、电动汽车电源控制器、高压输变电设备、太阳 能风能等新能源电站以及极端环境传感器等应用提供高品质的碳化硅单晶衬底。 为此，比亚迪汽车工业有限公司拟投资3400万元在拟在深圳市坪山新区比亚迪 路3009号坪山比亚迪一期内D9#厂房新建比亚迪汽车工业有限公司碳化硅衬底研发 项目，建设一条研发碳化硅衬底的试验线。研发批次为30次/年，单次碳化硅衬底研 发量为30片。 根据《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》、《建 设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理名录》及《广东省建 设项目环境保护管理条例》等法律法规的有关规定，本项目必须执行环境影响评价 制度。为此，建设单位特委托深圳市汉宇环境科技有限公司承担本项目环境影响评 价工作。环评单位接受委托后，立即组织评价专题组对评价区域进行了现场踏勘。 在认真调查研究及收集有关数据、资料基础上，结合项目所在区域的环境特点和区 域规划，对建设项目进行了分析，并按照《环境影响评价技术导则》(大气环境、地 面水环境、地下水环境、噪声、生态影响)有关要求，编制完成 《比亚迪汽车工业有 限公司碳化硅衬底研发项目环境影响报告书》。 1 比亚迪汽车工业有限公司碳化硅衬底研发项目环境影响报告书简本 图1 项目的地理位置 1 比亚迪汽车工业有限公司碳化硅衬底研发项目环境影响报告书简本 项目名称：比亚迪汽车工业有限公司碳化硅衬底研发项目。 项目性质：新建项目。 建设单位：比亚迪汽车工业有限公司。 建设地点：深圳市坪山新区比亚迪路 3009 号坪山比亚迪一期内 D9#厂房，项 目地理位置见图1。 建设规模：建设一条研发碳化硅衬底的试验线。研发批次为30 次/年，单次碳 化硅衬底研发量为30 片。 建设内容：项目利用坪山比亚迪一期内D9#厂房建设一条研发碳化硅衬底的试 验线。研发批次为30 次/年，单次碳化硅衬底研发量为30 片。项目依托现有厂房， 不新建厂房；公用辅助环保工程均依托现有厂区设施。 总投资及环保投资：项目总投资3400 万元人民币，其中环保投资80 万元。占 总投资的2.35% 。 劳动定员及工作制度：项目定员24 人。项目年工作300 天，实行一班制，每班 8 小时。 生产工艺流程： 本项目碳化硅衬底半导体材料研发工序主要包括三个环节：碳化硅高纯原料制 备、碳化硅晶体生长、碳化硅晶体加工，具体工艺过程如下： 高纯硅粉、碳粉 称重