表面三维形貌非接触测量的现状.PDFVIP

第 卷第 期 固 体 润 滑 , , 年 月 , 综述与进展 、 表面 三 维形貌非接触测量 的现状 高 宏 薛实福 严 普强 清华大学精密仪器系, 北京 、 摘 要 文 章 首先指 出表面 形 貌对 机械 电子和 光 学系统 的使 用 性 能影 响 很 大 , 尤 其 现 代 品生 , 确 可 地 测 量 面 形 貌, 日益 成 为 制 和 改进 加 工 面 在 产 产 中 精 靠 表 控 表 。 质 量 的必要 条件 作 者在 时表面 形 貌 的接 触 式测 量 方 法 进 行 了 简要 的评介之 后 , 着 重 就非接触 式表面 形 貌测 量 方 法 中主要应 用 的相 移 干 涉 显微镜 和 扫 描 随道 显微镜 的 测 量 原理 和 仪 器 结 构作 了介 绍 。 关键 词 表 面 三 维 形 貌, 非接 触 刚 量 , 相 移 干 涉 显 微 镜, 扫 描 随道 显 微 镜