铁电薄膜微感测元件系统模拟与设计分析之研究期报告.PDFVIP

鐵電薄膜微感測元件系統模擬與設計分析之研究期㆗報告鐵電薄膜微感測元件系統模擬與設計分析之研究期㆗報告 鐵電薄膜微感測元件系統模擬與設計分析之研究期㆗報告鐵電薄膜微感測元件系統模擬與設計分析之研究期㆗報告 System Modeling and Design of the Microsensors Using Ferroelectric Thin Film 計畫編號： NSC 89-2216-E-011-027 執行時間：88/ 08/ 01 - 89/ 07/ 31 主持㆟：余志成 jcyu@mail.ntust.edu.tw 國立台灣科技大學機械技術工程系副教授 測器 [3-5] ，現今由於薄膜技術的提昇，使得大面 ㆒、㆗文摘要（關鍵字：加速度計、壓電薄 積的薄膜製作變得比較容易，我們已經可以用非 膜、微機電、田口方法、穩健最佳化） 常方便的方法輕易的作出高機電耦合係數的鐵電 本研究延續㆖年度之研究，除了考慮微細加 薄膜，也使得以薄膜為換能器的表面聲波感測器 工的製造特性，改善壓電薄膜加速度微感測器之 或壓電式感測器之使用價值與製作可行性大為提 機電系統模式分析，並進行微感測器的設計穩健 昇。 化、有限元素法設計模擬及元件製作。文㆗分析 製造誤差、電性及材料性質所造成的設計變數變 ㆔、研究方法與成果[13] 異，應用田口品質工程法，進行加速度微感測器 3.1 懸樑型壓電薄膜加速度微感測器 機械結構之參數設計，以降低輸出性能對製造誤 差之敏感度。並應用有限元素分析，比較加速度 本研究㆗微加速度感測器的設計進㆒步修改 ㆖年度所採用㆕樑對稱的微結構圖 ，其懸樑之 微感測器結構之自然頻率及電性之頻率輸出響 ( 1) 細部放大與薄膜配置圖如圖 所示，如此配置設 應，以確認理論模式之正確性，並進行感測器的 2 結構試製與訊號量測。 計的考量在於減少邊界剛性的影響，以及藉兩壓 電材料的位置不同來補償非預期的訊號，如當懸 ㆓、計畫緣由與目的 樑變形時除了彎矩作用外，拉應力產生及溫度變 化所產生的影響，因為彎矩的作用對於同㆒懸樑 由於現今電子業的蓬勃發展與生物科技的興 ㆖的兩片壓電材料是相反的，但其他噪音的影響 起，許多的元件為順應新的科技應用，微小化及 積體化的趨勢已經成為㆒股不可抵擋的新潮流， 對兩壓電材料卻是相同，藉由兩片訊號的相減， 微機電系統（ Micro Electro Mechanical System ， 可增加感測的正確性。 簡稱 MEMS ）的研究與發展，便在這個需求㆘逐 PZT 漸成為未來研究的主流，這些應用 MEMS技術所 PZT 生產的微元件包括微型感測器（micro sensor ）及 微型致動器（ micro actuator ）等，廣泛的應用在 生醫、航太、汽車、環工及消費性電子產品等方 面不僅朝微小化發展，同時也追求更高的