高温超导台阶结的研究Ξ.PDFVIP

第 25 卷 增刊 低 　　温 　　物 　　理 　　学 　　报 Vol. 25 2003 年 10 月 CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS Oct. , 2003 高温超导台阶结的研究 a ,b a a b 曹春海 　　杨 　名 　　杨森祖 　　徐筱乐 a a a a a 尤立星 　　吉争鸣 　　康 　琳 　　许伟伟 　　吴培亨 a 　 南京大学电子科学与工程系 , 南京　210093 b 　 南京电子器件研究所 ,南京　210016 　　在铝酸镧衬底上研制了高温超导台阶结. 采用金属转移剥离技术及离子铣技术在铝酸 镧衬底上刻蚀出坡度角大于 70°陡直台阶. 结的特性与 SNS 结类似. 9. 5GHz 的微波辐照下出 现 Shapiro 台阶. 观察到结的高频响应有一温度窗口. 1 引　　言 高温超导材料在微电子器件中的应用分有源应用和无源应用两大类. 与常规器件比较 , 超导有源器件具有噪声低、功耗小、速度高、频带宽等优点. 但高温超导材料具有的内禀特性 使制备超导约瑟夫逊隧道结的工作遇到巨大的困难. 目前, 国内外研究和使用的高温超导结 的形式主要有双晶结、台阶结、双外延结、高低结和微桥结等. 其中双晶结和台阶结的性能较 好. 但双晶结使用的衬底不容易制备 ,且无法在任意位置及方向上形成双晶界面. 台阶结的 制备工艺较简单 ,可在衬底表面任一位置形成台阶结 ,很容易实现多结集成. 有不少研究小 组 \ + [1～3 ]采用斜角入射离子铣的办法报道了台阶结的研究结果 ,结的性能与双晶结的 很接近. 斜角入射离子铣可增大台阶坡度角 ,但对多结集成不利 ,并且存在台阶高度及台阶 坡度角控制不好的问题. 高温超导薄膜制备常使用的衬底材料有氧化镁、钛酸锶或铝酸镧. 氧化镁易发生水解 ,钛酸锶介电常数高及微波损耗大. 铝酸镧衬底稳定 ,介界电常数较适中 , 微波损耗小 ,容易生长高质量的 YBCO 超导薄膜 ,超导高频应用时一般选用它作为衬底材 料. 但制备陡直衬底台阶很困难. 我们采用独特的离子铣掩膜 ,垂直入射离子铣刻蚀高坡度 角台阶. 本文报道我们在台阶衬底制备和结制备的实验结果. 2 实验方法及步骤 高温超导膜在台阶边沿处超导性能发生局部弱化 ,两侧的超导薄膜间形成量子关联 ,在 适当的条件下形成高质量的超导约瑟夫逊弱连结. 台阶坡度角对台阶结的性能影响很大 ,通 常要求坡度角越大越好. 对铝酸镧衬底材料 ,一般采用离子铣的方法刻蚀台阶. 离子铣的工 作原理如图 1 所示. ( ) 国家重点基础研究发展规划项目 和国家高技术研究发展计划资助的课题. © 1995-2004 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 增刊 曹春海等 :高温超导台阶结的研究 291 + θ θ 其中 , V 、V 分别为 Ar 对掩膜和对铝酸镧的刻蚀速率 , 、 分别为掩膜和台阶的坡 1 2 1 2 度角. 可以得到如下关系 V2