高精度大口径光栅拼接装置的控制算法-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ １ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．１ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ １ Ｊａｎ．２００９ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０１０１５８０８ 　 高精度大口径光栅拼接装置的控制算法 邵忠喜，张庆春，白清顺，富宏亚 （哈尔滨工业大学 机电学院，黑龙江 哈尔滨 １５０００１） 摘要：采用宏／微结合双驱动的少自由度并联进给结构，给出了一种光栅拼接装置设计算法。宏动部分是 ５ＰＴＳ１ＰＰＳ型 并联机构，采用步进电机驱动滚珠丝杠形式的进给机构；微动部分是 ５ＴＳＰ１ＰＰＳ型并联机构，采用压电陶瓷驱动柔性铰 链形式的进给机构；二者串联构成光栅拼接机构。计算了宏动部分和微动部分的并联机构自由度，利用并联机构运动学 的逆解推导出该装置的控制算法，并根据控制算法进行了宏动、微动机构点位控制的运动学仿真。为了提高机构的定位 精度，分析了机构的系统误差并提出了误差修正方法。最后，将以上算法应用到光栅拼接装置中。实验结果表明：宏动 部分最大移动定位误差为 ３．６ ｍ，最大转动定位误差为 ４．４ ｒａｄ；微动部分最大移动定位误差为 ０．０６ ｍ，最大转动定 μ μ μ 位误差为 １．２ ｒａｄ；基本满足光栅拼接系统的精度要求。 μ 关 键 词：光栅拼接；运动学逆解；并联机构；自由度分析 　 　 中图分类号： 文献标识码： Ｏ４３６．１ Ａ 　　 犇犲狊犻狀犿犲狋犺狅犱狅犳犮狅狀狋狉狅犾犾犻狀 犱犲狏犻犮犲犳狅狉狋犻犾犻狀 犵 犵 犵 犺犻犺 犲犮犻狊犻狅狀犪狀犱犾犪狉犲犪犲狉狋狌狉犲狉犪狋犻狀 犵 狆 犵 狆 犵 犵 ， ， ， ＳＨＡＯＺｈｏｎｘｉＺＨＡＮＧＱｉｎｃｈｕｎ ＢＡＩＱｉｎｓｈｕｎ ＦＵＨｏｎａ ｇ ｇ ｇ ｇｙ （ ， ， ， ） 犛犮犺狅狅犾狅 犕犲犮犺犪狀犻犮犪犾犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犎犪狉犫犻狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犎犪狉犫犻狀１５０００１ 犆犺犻狀犪 犳 犵 犵 犳 犵狔 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ａｍｅｃｈａｎｉｃａｌｒａｔｉｎ ｔｉｌｉｎ ｄｅｖｉｃｅｉｓｄｅｓｉｎｅｄｂ ａｍａｃｒｏｍｉｃｒｏｄｕａｌｄｒｉｖｅ ａｒａｌｌｅｌｍｅｃｈａ