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MBE生长的垂直堆垛InAs量子点及HFET存储器件的应用
23 6 Vol23 No.6
2002 12 CHINESE JOURNAL OF LU MINESCENCE Dec. , 2002
: 1000-7032(2002) 06-0554-05
MBE生长的垂直堆垛InAs量子点
及HFET存储器件的应用
1 1 1 1 1* 2
李树玮 , 缪国庆, 蒋红, 元光 , 宋航 , 金亿鑫
3 3
小池一步, 矢野满明
( 1. , 130022;
2. , 130022;
3. , , 535- 8585, )
: MBE Stransk-i Krastanov 5 InAs ,
InAs(AFM)
, (PL) (DL S) InAs Al Ga As
05 05
, InAs , , InAs
, DL S InAs
HFE , I - V ,
DS GS
: InAs ; ( MBE) ; ; ( FE ) ;
: O4723 : A
,
1 引言
InAs
, InAs
[ 1,2]
, ,
, DL S
InAs( MBE) Al05Ga05As
Stransk-i Krastanov ( S-K) ,
[3] , DL S
, (AFM)
2 垂直堆垛InAs 量子点外延生长
, InAs
(PL) ( DL S) InAs MBE
AlGaAs Al, Ga, In As ,
[ 3]
, , ( RHEED)
InAs , 5
: InAs 1
, ( FE ) , HFE , Si
FE ( non- GaAs 500nm S-i GaAs ,
[4]
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