[理学]激光衍射测量技术_合肥工业大学.ppt

第一节 激光衍射测量原理 第二节 激光衍射测量方法 第三节 激光衍射测量的应用 内容提示: 重点: 衍射及衍射现象在测量中的应用 学习方法: 衍射测量的思维与方法 激光衍射测量技术 第一节 激光衍射测量原理 衍射/绕射:波能够绕过障碍物而弯曲地向它后面传播的现象，称为波的衍射现象 波: 声、光、电磁、机械波 障碍物：大小、形状对现象均有影响 现象：与波的波长、障碍物的大小、光源/观察的位置有关 第一节 激光衍射测量原理 光的波长短， 对很小的缝隙/屏才有明显的衍射现象，激光出现后， 衍射现象才实际应用到测量中： 1973年 Canada 国家研究所 T.R. Pryer 提出了激光衍射测量的方法 衍射测量的特点： 全场， 非接触， 稳定性好，自动化程度高，精度高 一、 菲涅耳和夫琅和费衍射 划分：按光源、障碍物/衍射物，观察屏三者之间的距离或位置划分菲涅耳衍射和夫琅和费衍射 （1）菲涅耳衍射/近场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为有 限远 （2）夫琅和费衍射/远场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为无 限远 一、 菲涅耳和夫琅和费衍射 夫琅和费衍射是我们衍射测量的基本原理 其常用的光路图如下： 二、单缝测量原理 1. 单缝衍射现象 其观察屏的光强分布： 有菲涅尔衍射原理有 由基尔霍夫条件知： 则光强分布： 二、单缝测量原理 单缝衍射的特点： 1）中央明纹最亮、最宽，它的宽度为其他各级明纹宽度的两倍 2）次级明纹的光强随级次的增加而逐渐减小3）若光程差不等于 λ/2  的整数倍，亮度介于最明与最暗之间。 4）条纹的方向平行于缝的方向 5）暗条纹β=kπ 即 2. 单缝测量的原理 当θ不大时则有: 由暗条纹现的公式知: 2. 单缝测量的原理 由此可以得出以下结论: 测定L Xk的大小,就能计算狭缝宽度 测定b Xk的大小, 就能计算L的大小 如果Xk变化, L已知, 反映了狭缝的变化,可实现在线测量 由公式可知,暗条纹间距为固定值 所以通过测量条纹间距,也可以测量以上各值 3. 单缝测量的能力 测量分辨力 反映了测量最小分辨能力, 级数越高 L越大, 波长越长, 分辨力越高 反映了狭缝对尺寸的放大倍数, 即放大了1/t倍 Xk的测量分辨力,决定了狭缝的测量分辨力 3. 单缝测量的能力 测量精度 由于一般激光频率稳定度可达10-6,可以忽略波长的影响 考虑环境因素的影响,一般测量的精度可达±0.5um 测量量程 b越小,β越大,衍射明显 b越小, XK变大,光强分布减弱,高级次条纹不明显 b越大, XK变小,条纹变密, 传感器不易放置, 灵敏度下降 Lb2/λ, 仪器尺寸限制, b基本确定 测量量程 一般d的宽度取0.01mm-0.5mm 三 、圆孔衍射测量 屏上接受光强： J1为一阶贝塞尔函数 X为： 爱里斑：第一个暗环所包括的区域。 常用测试仪器的分辨率 三 、圆孔衍射测量 由一阶Bessel函数知，其零点位置 分别为：3.83， 7.02，10.17… 则Airy斑的大小有： Airy集中了84%的能量以上 第二节 激光衍射测量方法 衍射测量根据夫琅和费狭缝和圆孔衍射原理进行测量： 常用的测量方法主要有： 1、间隙测量法 2、反射衍射测量法 3、分离间隙法 4、互补测屏法 5、爱里斑测量法 6、衍射频谱检测法 1、间隙测量法 间隙法主要运用单缝衍射原理，通过测量某一暗条纹的距离， 通过公式，计算出被测量的大小。 主要分： 尺寸比较 形貌测量 c. 传感器 可以测量应力/应变，温度，压力，加速度等 1、间隙测量法 测量出某一暗条纹的位置后,利用衍射公式,计算出变化量的多少. 也可以通过计数某一位置(衍射角度固定), 衍射条纹数的变化条数计算 第一种,为绝对测量法 第二种为增量测量法 1、间隙测量法 基本的间隙法测量装置: 测量应变装置: 2、反射衍射测量法 反射衍射法是利用试件棱缘和反射镜构成的狭缝来进行衍射测量的。 由于平面镜作用,相当于虚线的光源发出的光照射, 则两端线光程差为: 根据衍射条件知: 光程差为波长整数倍,出现暗条纹,即 2、反射衍射测量法 将右式展开: 则有 带入 所以有: θ为任意值， 可以测量某角度下的不同级数暗条纹的位置X，连立方程求解 2、反射衍射测量法 特点： 1、灵敏度提高一倍 2、入射光可以以一定角度入射，布置方便 应用： 表面质量评价、直线性测定、间隙测定等 3、分离间隙法 利用参考物和试件不在一个平面内