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新型声表面波电流传感器-应用声学.pdfVIP

新型声表面波电流传感器-应用声学.pdf

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    第卷第期年月汪承灏院士八十生辰学术论文新型声表面波电流传感器王文贾雅娜刘鑫璐薛蓄峰梁勇中国科学院声学研究所北京摘要将声表面波技术的快速响应特点与磁致伸缩薄膜的高磁敏特点相结合可实现一种快速高灵敏稳定可靠的新型电流检测技术传感器由双通道差分式振荡器与沉积在传感通道器件表面的声传播路径上的磁致伸缩薄膜组成该文基于分层介质中声传播理论及磁致伸缩效应对声表面波电流传感机理进行了分析以实现对传感器结构的优化设计实验研制了采用铁钴薄膜的声表面波电流传感器测试结果表明该传感器具有快速响应和高灵敏特点为抑制磁致

    第 37 卷 第 1 期 Vol. 37, No.1 2018 年 1 月 Journal of Applied Acoustics January, 2018 ⋄ 汪承灏院士八十生辰学术论文⋄ 新型声表面波电流传感器

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