扫描电镜图像的自动亮度衬度控制-仪器信息网.PDFVIP

扫描电镜图像的自动亮度衬度控制 何恩苓 (江南光学仪器厂) 摘 要 本文扼要地夼绍成功的应用于DXS-3型塑堕 王垦丝量中的 c电路． 近年来高分辨率扫描电镜的迅速发展，尤其是扫描电镜的直接 图像记录能力和微机控 制 使扫描电镜的功能 日臻完美．自动化程度 日益增强。 扫描电镜的自动化操作大大减少了操作员的疲劳并降低了对其技术和实践经验方面的 要求 ．本文介绍的是微机控制下的图像亮度和村度的自动调整环节，简称 ABC电路 ． 操作参数的任何变化．如：加速电压 透镜电流、样品的重新定位等都将引起 CRT 上图象亮度与村度的变化．若无ABC环节，势必手动改变光电倍增管 (PMT)的增益与 黑电平来补偿这种变化．工作参数的过度变化将导致 CRT或 PMT的损坏．ABC电路的 应用完全消除了这～隐患，更重要的是使图像亮度衬度快速达到最佳状态． ABC电路在 DXS-3型高性能扫描电镜中得到了成功的应用并达到了预期的效果． 图像二维光强度 函数用 f(x，y)表示，在空间座标 (x．Y)处的f的振幅值就是该 点图像的光强度，其区间是 0f(x，y) ∞ 在座标 y)处的单色图像 f的强度称为该点图像的灰度级(I)，显然 1的范围是 L 』L 理论上，对 L 的唯一要求是必须为正，对 L一 的要求是必须有限，间隔[L～…L x】称 为灰度范围．实用上把这一间隔在数值上移到[0．L]，其中1—0被认为是黑，1=L被认为 是白，所有中间值都是由黑连续变为白时的灰度浓淡级． 一 个像元的视在亮度强烈地依赖于该点的背景亮度，强度相同的图像会因其背景电平 不同，使它们在CRT上显示的图像相差悬殊，甚至超 出视觉所能分辨的范围。 图1所示是未孥ABC电路调整的视频信号波形．图1(a)与图1(d)固增益调整 不当而损失了许多灰度级；图1(bJ与图 1(c)因亮度电平调整不适 当遭到白限幅或黑 限幅，无端地损失了灰度级．ABC控制的目的在于获得最佳的亮度电平C和图像信号m (x，y)，即使式 g (x，y)=c+m (x，y)，处于最佳工作状态，g (x，y)为某象元的灰 度电平 ．ABC电路框 图如图2所示． — — 39—— 一 一 图 I 大体上分为亮度和衬度控制两个环路，在几秒钟之内自动完成调整作用，两环路既独 立工作又有内在联系。如为改变图像交流村度而改变PMT的增益时，其信号平均值 (即 亮度)也会改变，所 以环路的增益小于 l， 1、亮度 自动调整 一 帧扫描开始前，控制电路发出信号 c。，使模拟开关 S1瞬间闭合，积分电路 (A) 复位．在一帧扫描期间，迥路 (A)积分了图像信号，扫描完成后。控制电路使模拟开关 s，在规定的时间问隔 内闭合，对后面的积分电路充电或放电 (取决于 电路 (A)的输 出)．电路 (B)的输 出改变前放的偏压，从而改变图像的亮度，如此循环在几帧扫描周 期内自动调整 ，使积分电路 (A)的输 出为零，电路 (B)既不充电也不放电，前置放大 器偏压不变，图像亮度不变，至此获得最佳亮度电平C． 2、村度 自动调整 村度 自动词整电路的输入端有一个由二极管D，电阻 R和电容 c组成的 峰保持 电 路．扫描开始前，电容 c被控制电路所发信号复位，在下一帧扫描期间，峰保持 电路储 存了图象信号的最大值．后面设置的加法电路从最大峰值 中减去信号平均电压 (亮度电 平，由电路 (A)给出)和衬度预置电压．这帧扫描完成时，控制 电路使模拟开关 s，闭 合，使后面积分电路D工作．电路 (D)经光电隔离器输出控制光电倍增管PMT高压发 生器的参比电压，使其发生的电压变化，改变二次电子探测器的增益，达到图象衬度 自动 词整的目的．这一环路工作的结果，使图象信号的最大峰值为信号亮度电平与预置衬度之 和，图象村度