[物理]1- 引言及真空技术基础.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的。 * * * * * * * * * 例一：薄膜制备系统: 金属喷镀仪 金属喷镀仪的真空系统参数 真空室：?4.75英寸?H4.75英寸 真空泵：双级旋片机械泵 极限真空度：6×10-2Pa 抽速： 0.5L/s 真空计：皮拉尼电阻真空规 （0.1Pa-大气压） 例二：薄膜制备系统: 分子束外延设备 真空室： ?28 英寸?H15 英寸 极限真空： 5?10-8 Torr 真空泵： 低温冷凝泵（或分子泵）1500L/s 旋片机械泵 12L/s 真空计：电离规?2，热偶规?2，皮 拉尼规?2 ，薄膜规?1 分子束外延设备的真空系统参数 典型薄膜制备系统的结构图 第一章 小结 薄膜材料在现代科技领域占有重要的地位，可作为大家今后作为材料科学家或工程师的职业方向 真空技术是现代薄膜材料技术的基础 不同的薄膜制备方法涉及到不同的真空环境——真空度 不同的真空度需要采用不同的真空获得方法与真空测量方法 * * * * 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜 的约2000倍 2）景深提高约300倍 * * 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜 的约2000倍 2）景深提高约300倍 * 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜 的约2000倍 2）景深提高约300倍 * X-射线分为： 荧光x-射线（特征谱），与元素有关， 用于分析成分，即电子探针功能 连续谱 X-射线的检测方法有二： 1）EDX： 用检测器 限于分析11（Na）或5（B）号以上元素， 灵敏度达0.1%，有时相近元素峰峰相互重叠。 分析速度快 2）WDX：用检测器 可分析11（Na）或5（B）号以上元素， 灵敏度达0.01%。可分辨相近元素 分