电镀工序工艺简介.PDF

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电镀工序工艺简介

2007924 Via Filling Electroless plating copper 沉氧 Cu2+ 氧 沉 Cu2++2HCHO+4OH¯Cu+2HCOO¯+2H2O+H2 PTH Desmear PTH PTH “” R-O-R‘ : KMnO , 4 , 4MnO - - 2- C4OH 4MnO CO 2H O 4 4 2 2 4MnO4- +40H- = 4MnO42- + O2(g) + 2H2O MnO42- MnO42- + 2H2O + 2e- = MnO2(s) + 40H- 阳极: MnO42- - e- MnO4- 极: H2O + e- OH- + 1/2 H2 () 100%, 118.9 g * 3600 * /AH ( ) _____

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