- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
纳米材料制备——物理制备方法
MEMS与纳米技术之纳米技术之IV
纳米材料制备
——物理制备方法
王海容
whairong@mail.xjtu.edu.cn
西安交通大学精密工程研究所
Institute of Precision Engineering, XJTU
西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University
MEMS与纳米技术之纳米技术之IV
纳米材料
纳米材料的定义和分
类 纳米材料制备
纳米材料结构
纳米材料的特性
纳米材料制备
纳米材料应用
纳米加工
电子束曝光 纳米测量
聚焦离子束加工技术 透射电子显微镜
纳米压印 扫描电子显微镜
扫描隧道显微镜 X射线衍射分析
原子力显微镜 扫描探针显微镜
超精密加工
…
…
西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University
MEMS与纳米技术之纳米技术之IV
Content
一些真空基础知识
纳米材料制备技术简介
纳米材料的物理制备方法
西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University
MEMS与纳米技术之纳米技术之IV
大气压(atm): 标准的大气压力定义为1 atm
帕(Pa): N/m2 (常用单位:Pa)
Million
巴(Bar): Dy/cm2, (常用单位:mBar)
托(Torr):1/760 atm, (常用单位:Torr)
粗真空 : 1 - 10-3 Torr
-3 -5
中等真空 : 10 - 10 Torr
-6 - 10-8 Torr
高真空 (HV) : 10
超高真空 (UHV) : 10-9 Torr
西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University
MEMS与纳米技术之纳米技术之IV
空气密度与压力的关系
原创力文档


文档评论(0)