氮化硅薄膜制备技术及其在太阳能电池中的应用教学教材演示幻灯片.pptVIP

氮化硅薄膜 ----制备技术及其在太阳能电池中的应用介绍  姓 名：张小龙 学 号：2011156112 指导教师：姜礼华 氮化硅薄膜是一种重要的精细陶瓷薄膜材料，它既是优良的高温结构材料，具有良好的抗冲击、抗氧化和高强度等特点；又是新型的功能材料，在许多方面已获得广泛应用。氮化硅薄膜具有很多优良的性能，如硬度高、抗腐蚀、耐高温、化学惰性与绝缘性好、光电性能优良等特点，所以被广泛的应用于微电子领域、微机械制造、光电子工业、太阳能电池、陶瓷切削加工工具、材料表面改性以及航天航空等领域。 氮化硅薄膜应用介绍 1、氮化硅薄膜制备技术介绍 本文主要介绍了下面几种氮化硅薄膜制备方法 a、等离子体化学气相沉积(PECVD)法； b、高温热化学气相沉积(HTCVD)法； c、常压热化学气相沉积（APCVD）法； d、低压热化学气相沉积（LPCVD）法； e、