一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化.pdfVIP

下载本文档

1
0
约2.55万字
约 5页
2018-03-01 发布于河南
举报
版权申诉

一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化

一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化黄树森!郭南翔!黄晖!宋朝辉!李欣昕!王跃林 # 中科院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室!上海 # %%%S% 摘要!给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理$该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率$基于分析模型!本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则$采用硅片和深反应离子刻蚀 #工艺给出了传感器的制造和测试结果$ \FD TID( 关键词!加速度传感器%微梁直拉直压%结构优化%设计规则中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $ [! A !B’!)=’’B%%# %’%)%#%S)%= # # 1 #$%’#()*+ *%$*//-;*’##*,*$%*-*$’)+-/+*/)% -’-%) 0 9 0 ! ! ! ! ! @‘A?H \;4)K17 H‘F ?+7)8,+7 @‘A?H @4, \F?H G;+9);4, _Dc,7)8,7 ]+7 E41)-,7 ! %9%(F( B9C)-9%)- ) ;-9#$’,(-;(,8#).) #$%%’%() +,-)$$%(: 4 4 * 14 * 4 9## )-:9%)#;(,8#).) ! ! ! # * 14 78#($(D,9(: ) ,(#,($ 89# 89%%%S% 78#9 4 * 1 $ 1./-$’#- A *,6O9*+6;,715 ,1:9O1K,KP,N1+661-1O9*1P1OR,P;+8,+-- KPO1P6;15+7569* O1KK15P,) 2 . 2 7 /1+*K,K O9 9K15R,P;/9P;*46;;,;1OK17K,P,N,P +757+P4O+-O1K97+7PMO14176 69* +O15 . 2 2 . Q . 2 P9697N17P,97+-6+7P,-1N1O)*+KK6947P1O+OPK$A *16;+7,6+-*951-,K697KPO46P15P9 ,N19 P,*,:15 2 2 ! O1K4-PK+75K6+-,7 O4-1K$‘K,7 \FDR+M1O P;1+661-1O9*1P1O,KM+/O,6+P15R,P;511 O1+6P,N1,97