硅片生产工艺技术流程精选.docVIP

顺大半导体发展有限公司太阳能用 硅单晶片生产技术 目 录 一、硅片生产工艺中使用的主要原辅材料 1、拉制单晶用的原辅材料，设备和部件： 2、供硅片生产用的原辅材料，设备和部件： 二、硅片生产工艺技术 1、硅单晶生产部 （1）、腐蚀清洗工序生产工艺技术 对处理后原材料质量要求 （2）、腐蚀清洗生产工艺流程 ① 多晶硅块料，复拉料和头，尾料处理工艺流程 ② 边皮料酸碱清洗处理工艺流程 ③ 埚底料酸清洗处理工艺流程 ④ 废片的清洗处理工艺流程 （3）、硅单晶生长工艺技术 （4）、单晶生长中的必备条件和要求 ① 单晶炉 ② 配料与掺杂 （5），单晶生长工艺参数选择 （6）、质量目标： （7）、硅单晶生长工艺流程 2、硅片生产部 （1）、硅片加工生产工艺技术 （2）、硅片加工工艺中的必备条件和要求 ① 切割机 ② 切割浆液 （3）、质量目标 （4）、硅片加工工艺技术流程 ① 开方锭生产工艺流程 ② 切片生产工艺流程 （5）、硅片尺寸和性能参数检测 前 言 江苏顺大半导体发展有限公司座落于美丽的高邮湖畔。公司始创生产太阳能电池用各种尺寸的单晶和多晶硅片。拥有国内先进的拉制单晶设备104台，全自动单晶炉112台。年产量可达到××××吨。拥有大型先进的线切割设备×××台。并且和无锡尚德形成了合作联盟（伙伴），每×可以向尚德提供×××硅单晶片。同时河北