洁净技术6章.ppt

空气洁净技术 第六章 洁净环境的品质 所谓环境，是人或某种对象物所处的空间。就环境而言，可以是室外环境，也可以是室内环境，或是某一局部空间环境。后两者也可称为微环境。空气洁净技术就是研究微环境的污染控制技术，就是建立洁净环境的技术。 洁净环境的主要品质是空气洁净度，即对空气的微粒浓度的要求，但是由于在洁净环境中所进行的工作往往具有特殊性，所以对洁净环境的品质也往往还有其它的要求。如下表所示。 洁净环境品质所要求的方面 表6—1 一、空气洁净度与洁净标准 空气洁净度是指洁净环境中空气含尘量多少的程度。空气含尘浓度高则洁净度低，空气含尘浓度低则洁净度高。 空气洁净度的高低用空气洁净度级别来区分。而这种级别又是用操作时间内空气的计数含尘浓度来表示的。 也就是把从某一个低的含尘浓度起到不超过另一个高的含尘浓度止，这一个含尘浓度范围定为某一个空气洁净度级别。 我国《洁净厂房设计规范》（GBJ73—84）中对空气洁净度提出了四级划分，见表6—2。 美国联邦标准FS209E的洁净度等级划分见表6—3。 美国联邦标准FS209E的洁净度等级划分 表6—3 ? 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 中国药品生产洁净室（区）的空气洁净度标准 表6-4 二、气流速度 在洁净室内，一方面是送入洁净空气对室内污染空气进行稀释，另一方面是加速排出室内浓度高的污染空气，所以洁净室内空气的流速既要有一定的速度，才能防止其他因素（如热流）的扰乱，但又不能太大，流速太大将使室内积尘飞扬，造成新的污染。  气流速度有以速度限制的，也有以换气次数限制的。 以速度限制时： 乱流洁净室：吹过水平面的气流速度＜0.2 m/s 层流洁净室：垂直平行流洁净室≥0.25m/s 水平平行流洁净室≥0.35m/s 当按洁净级别划分时，换气次数为： 100级 ≥360次/h 1000级 ≥50次/h 10000级 ≥25次/h 100000级 ≥15次/h 三、压力 对于大部分洁净室，为了防止外界污染侵入，需保持室内压力（静压）高于外部的压力（静压），压力差的维持一般应符合以下原则： 1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。 2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。 3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。 《洁净厂房设计规范》规定： 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于4.9Pa。 洁净区与室外的静压差，应不小于9.8 Pa。 洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算： Q=a·Σ(q l) m3/h a——根据维护结构的气密性确定的安全系数，一般取a=1.1~1.2 q——洁净室为某一正压值时，其维护结构单位长度缝隙的漏风量，m3/h·m。 l——维护结构的缝隙长度，m。 维护结构单位长度缝隙的漏风量q（m3/h?m） 表6—5 对于生物学洁净室，为了防止危险的微生物从操作或研究对象散发到控制空间以外而造成污染，需保持内部的压力低于外部的压力。一般根据生物学危险级别来确定负压的程度。 四、温、湿度 洁净空间的温、湿度主要是根据工艺要求来确定的。在满足工艺要求的条件下，应考虑人的舒适感。 温度对生产工艺的影响，主要是从产品精度和合格率来考虑的。另一方面也从污染角度考虑。因为温度升高后，会引起人出汗，汗水会对产品产生污染。 湿度过高产生的问题也很多，如相对湿度超过55%以后，冷却水管壁面上会结露。如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。 此外，湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除。但是相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于物体表面，在半导体生产车间，静电会使半导体器件发生击穿。所以，在洁净室内应对温、湿度加以控制。 人体舒适感一般与下列因素有关：空气温湿度，吹过人体的空气速度、所在空间内各种表面温度、人的活动强度、生活习惯、衣着情况、年龄、性别等。 上述几种不同因素组合，可以给人以相同的冷热感觉即舒适感。相同的舒适感用等效温度来表示。 所谓等效温度，是对应于相对湿度φ=50%，空气流速v=0