[工学]第6章 位移传感器.ppt

第6章 位移传感器 6.1.1 电位器式位移传感器 6.1.1 电位器式位移传感器 6.1.2 电容式位移传感器 6.1.3 电感位移传感器 6.1.3 电感位移传感器 6.1.3 电感位移传感器 6.1.4 电涡流式位移传感器 莫尔条纹光学放大作用举例 数控机床位置测量的方式 一、直接测量和间接测量 2.间接测量 传动机构 滚珠丝杠螺母副 传动分析 6.2.2 光栅位移传感器的结构及工作原理 6.2.2 光栅位移传感器的结构及工作原理 脉冲细分 光栅细分举例 为光栅设计的专用数据转接器（光栅计数卡） 光栅数显表 光栅的外形及结构 光栅的外形及结构（续） 光栅在机床上的安装位置（2个自由度） 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 光栅在机床上的安装位置 （3个自由度）（续） 安装有直线光栅的数控机床加工实况 信号航空插头 其他角编码器外形 其他角编码器外形（续） 其他角编码器外形 6.3.1 增量式编码器 增量式光电编码器的分辨力及分辨率 增量式光电编码器的测量精度取决于它所能分辨的最小角度，而这与码盘圆周上的狭缝条纹数n 有关，即最小能分辨的角度及分辨率为： 光电编码器的输出波形 为了判断码盘旋转的方向，在上图的光栏板上的两个狭缝距离是码盘上的两个狭缝距离的（m +1/4）倍，m 为正整数，