压电驱动式微挤压成形系统设计及试验研究-IngentaConnect.PDFVIP

／ ５０ ２０１４ ０３ 　　 　 ＤｅｓｉｎａｎｄＥｘｅｒｉｍｅｎｔＳｔｕｄ ｏｆＭｉｃｒｏｅｘｔｒｕｓｉｏｎ ｇ ｐ ｙ Ｆｏｒｍｉｎ ＳｓｔｅｍＢａｓｅｄｏｎＰｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃＡｃｔｕａｔｏｒ ｇ ｙ ， ， ， ， （ ， ） ７１００７２ ， ， ， ， ＣＨＥＮＦｅｉｆｅｉＱＩＬｅｈｕａＺＨＯＵＪｉｍｉｎ ＧＵＡＮＪｕｎｔａｏＸＵＹｉｒｅｎ ｇ （ ， ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎ Ｎｏｒｔｈｗｅｓｔｅｒｎ ｇ ｇ ， ’ ， ） ＰｏｌｔｅｃｈｎｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｘｉａｎ７１００７２ Ｃｈｉｎａ ｙ ｙ ： 、 ， “ ”   ， 。 ， ， 。 ： ， ＺｎＡｌ４ ， ； ， ２６００