基于扇形霍尔板几何修正因子的分裂漏磁敏场效应晶体管相对灵敏度.PDFVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 年 月 基于扇形霍尔板几何修正因子的分裂漏 磁敏场效应晶体管相对灵敏度研究 刘 同 朱大中 浙江大学微电子与光电子研究所杭州 摘要采用保角变换方法推导出扇形霍尔板的几何修正因子并根据几何修正因子得到扇形分裂漏场效应晶体管 相对灵敏度的解析表达式 通过计算机模拟和实验测试结果的验证进一步完善了扇形磁敏分裂漏场效应管相对 灵敏度的数学模型 相比矩形结构磁敏场效应晶体管扇形磁敏场效应晶体管具有更高的相对灵敏度 测试所获最 大灵敏度为 根据本文模型最大相对灵敏度应为 关键词 保角变换几何修正因子相对灵敏度数学模型 中图分类号 文献标识码 文章编号 法与电子线路仿真兼容依赖于准确可靠的工艺参 引言 数但扇形 不属于代工厂生产的标准 所以常用的 参数不能准确反映扇 分裂漏磁敏场效应晶体管 是一 形器件物理特征故此方法不适合扇形 种特殊结构的场效应晶体管 它通过漏 的灵敏度计算基于半导体方程数值模拟的建模方 极分裂的设计可以探测磁场作用下不同漏极之间 法精度高可靠性好是器件设计所必须的步骤缺 的微小电流偏差将磁信号转换为电信号 分裂漏 点是灵敏度与 几何参数的关系不够明 凭借与标准 工艺兼容的优点使 确 的建模过程不如数值模拟简便由于引进了 磁敏传感器与其后续的信号处理电路兼容集成因 更多的参数反而显得繁杂并不能有效地用于 而应用范围广有重要的研究价值