第七章电子光学江苏大学材料分析考试必备.ppt

电子显微学发展历史简要介绍 1.1 程序设计语言/概述 1.1 程序设计语言/概述 1.1 程序设计语言/概述 对电子透镜的充分理解可以帮助我们回答这样的问题： 为什么电子显微镜比光学显微镜能使我们看到更小的细节？ 为什么我们不能看到如理论预期那样小的细节？ 为什么电镜比光学显微镜具有更好的焦深和景深？ 5. 电子通过磁场的运行轨迹 电子在通过透镜场时是以螺旋线的形式盘旋前进 当电子的能量增加时，我们必须使用强透镜； 当增加磁场强度时，螺旋旋转的程度变得更为陡峭。 球差是透镜场对轴外光线产生不同的作用而形成的相差，电子偏离光轴越远，经过透镜后弯向光轴的能力就越强，其结果是使一个点物体成像之后形成了具有一定尺寸的盘，这会限制显微镜对细节的放大能力，因为细节在成像过程中严重退化，正是这个缺陷限制了现代TEM的分辨率 一共有10种透镜缺陷（参看Reimer1993），这些缺陷可以同时或不同时显现出来，然而实际上我们并不需要知道所有缺陷，只需要对限制显微镜性能的那些缺陷进行了解就足够了，因此在这里我们只介绍了球差、色差和像散这三种主要像差。另外还有几种微小的像差，如筒状畸变和针状畸变，这种像差在低倍数下经常出现，是由于电子束传输过程中过于接近极片中的钻孔造成的 ，另一些缺陷在这里不予介绍。 TEM实际分辨率 典型的rmin值大约在0.25-0.3nm之间，但高分辨电镜的rmin值大约为0.15nm，因此对大多数晶体材料来讲，我们可以分辨原子的排列情况 假设由可在像平面中被聚焦的物上最高点处发出光线1，那么光线1到达像空间的最远点，此时像仍然清晰，光线2是物上最低的一点，并和光线1平行，如果aim和bob都很小，则： 对于bob=10mard，dob=2埃的情况，带入到景深方程，可得到景深为20nm，也就是说这一20nm厚度的样品可以同时被聚焦。如果仅需要2nm的细节，那么就可以使用200nm厚的样品，也能保证同时聚焦 如果我们想要看到2埃以下的细节，则大约需要放大500,000倍，根据焦深方程，在这种条件下，焦深达到5km！ 而在20nm分辨水平即50,000倍条件下，焦深为5m。 这意味着我们可以在巨大的范围内放置照相底片或其它记录装置，因为在观察屏的上下几米范围内都可以获得聚焦的图像，这解释了为什么我们可以将35mm相机放在投影镜的下面，而仍然能够在TV屏幕上得到聚焦的图像。实际上，如果放大倍数足够大，你甚至可以将图像投影到楼下，此时仍然可以得到聚焦的TEM像。 7.2 电磁透镜的像差与分辨本领 像差 分辨率 2).像散 因透镜磁场的非旋转对称而引起的。 如果电磁透镜在制造过程中已存在固有的像散，则可以通过引入一个强度和方位都可以调节的矫正磁场来进行补偿，这个产生矫正磁场的装置就是消像散器。 3).色差 由于入射电子波长（或能量）的非单一 性所造成的。 7.2 电磁透镜的像差与分辨本领 像差 分辨率 色差几何示意图 7.2 电磁透镜的像差与分辨本领 像差 分辨率 因色差造成的散焦斑半径大小: 因此采取稳定加速电压的方法可以有效地减小色差。 7.2 电磁透镜的像差与分辨本领 像差 分辨率 色差系数Cc与球差系数Cs均随透镜激磁电流的增大而减小。 7.2 电磁透镜的像差与分辨本领 7.2 电磁透镜的像差与分辨本领 像差 分辨率 电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定。 1.衍射效应对分辨率的影响 由衍射效应所限定的分辨率（即试样上能分辨出的两个物点间的最小距离）在理论上可由瑞利 公式计算，即 ?r0 7.2 电磁透镜的像差与分辨本领 像差 分辨率 ?r0的物理含义 两个点光源成像时形成的埃利斑 7.2 电磁透镜的像差与分辨本领 像差 分辨率 2.像差对分辨率的影响 如前所述，由于球差、像散和色差的影响，试样上的光点在像平面上均会扩展成散焦斑。各散焦斑半径折算回物体后得到的?rs、 ?rA、 ?rc值自然就成了由像差所限定的分辨率。 衍射效应与像差协调(孔径半角)以得到最佳分辨率 考虑到Rayleigh判据和球差，则分辨率r： 由此可以得到r随b的变化方程： 在满足如下条件时，存在一个最佳值： 从这一方程可以得到最佳的b值为： 将这个bopt带入到上式，可以得到最小的r(b)： 这就是我们想要得到的表达式，它给出了显微镜的实际分辨率 千万不要混淆放大倍数和分辨率这两个概念！ 7.2 电磁透镜的像差与分辨本领 在某一方大倍数以上，我们将看不到任何信息，因为其它的因素限制的像的细节，这就是显微镜分辨率的概念 高分辨TEM的最大的有效放大倍数应该是106 使用直径仅为几微米的小光栏来限制照射到样品和通过透镜的电子光束，虽然这一