理论基础21石英晶体微天秤法(QuartzCrystalMicrobalance.PDF

第二章 理論基礎 2.1 石英晶體微天秤法 (Quartz Crystal Microbalance ，QCM) 2.1.1 壓電效應 在 1880 年，Jacques 與 Pierre Curie 發現當施加一機械應力 （mechanical stress ）於若干晶體（如quartz 、rochelle salt 、tourmaline ） 時，會使得晶體相對的產生一電位差，此 一電位差正比於所施加之應 力，而此一現象即為壓電效應（piezoelectric effect ）；此電荷的產生是 由於晶體中之原子位移而產生瞬間偶極距所致。而後， Curies 又提出了 反壓電效應（ converse piezoelectric effect ），即提供一電壓使其通過晶 體，進而使得晶體產生一機械形變（ mechanical strain ）。 在單位晶胞內，如果正電荷之 幾何中心點與負電荷之幾何中心點不 在同一點上時 即晶體結構中不存在著對稱中心( ) ，就會產生電偶極 (electric dipole) ，將電荷量乘以正負電荷之間的距離，即可得到電偶極 矩 ( electric dipole moment ) ，其方向為由負電荷指向正電荷，且單位是 庫倫‧米 (cl ‧m) 。而單位體積內之總電偶極矩則稱之為極化 2 2 (polarization) ，其單位為庫倫／米(cl/m ) 。 不具有對稱中心的晶體，在未受力前，正負電荷的中心不在同一點 上；但當受到應力作用時，便會使正負電荷產生相對位移，因而產生電 偶極矩或電壓，如圖 2-1 ，故壓電效應係由於晶體物質中的單位晶胞內缺 18 乏對稱中心而導致的 。 12 圖 2-1 壓電材料單位晶格示意圖 : 電場引起非中心對稱材料的偶極再次定向。剪切變形的方向和範圍決定於施加 的偏壓方向和大小。 壓電現象包含了兩種效應，即正壓電效應及逆壓電效應，以下將予 以簡要說明： A.正壓電效應 (Direct Piezoelectric Effect) 壓電體在極化後，其內部會有電偶極矩形成的極化強度，在壓 電體的一端會出現正束縛電荷，另一 端會出現負束縛電荷，在束縛 電荷的作用下，於電極表面吸附了一層來自外界的自由電荷。若於 壓電體上沿著極化方向施一機械應力 ，則壓電體被壓縮變形，而使 其正負電荷間距變小，導致電偶極矩變小，故極化強度減少，則吸 附在電極上的自由電荷將有一部份被 釋放，而產生放電現象，其釋 放電荷多寡與外加應力大小成比例，應力除去後又重新充電；當應 力方向相反時，電荷電壓( 的極性亦隨之相反，故此效應乃將機械) 能轉換成電能。 13 B.逆壓電效應 (Inverse Piezoelectric Effect) 若在極化後之壓電體兩端加上與極化方向相同之直流電場，則 極化強度會增強，正負電荷間的距離就會增大，壓電體即沿極化方 向伸長，而其材料的形變量會依電場的大小而改變；反之，若加與 極化方向相反之直流電場，則壓電體會沿極化方向縮短。若所加入 者為交流電場，則壓電體的形變方向會隨著交流電場的極性改變而 19 改變。故此效應是將電能轉換成機械能 。 （a） （b） （c）