第四章34电容式、电感式传感器.ppt

liby@dlpu.edu.cn 4.3电容式检测元件 4.3.1概述 电容式检测元件用于机械量位移、振动、角 位移、加速度和压力、物位、差压等测量。 结构简单；容抗高，损耗小、自身发热小；因 为电容式传感器具有较小的可动质量，动片的固有 频率高，所以其动态特性好；工作适应性强，可进 行非接触式测量；可获得较大的相对变化量，电阻 应变片的相对变化量小于1%，而电容可达到100 % 或更大，但电容起始值较小，负载能力差，易产生 寄生电容和干扰，必须采取良好屏蔽和绝缘。 4.3.2 电容式检测元件工作原理 1.工作原理 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板 电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为： 被测量变化使式中的S、d或ε发生变 化时，电容量C也随之变化，通过测量电 路进一步转换为电压/电流/频率等电信号。 2.分类： 按被测量所改变 电容器的参数分变 极距式、变面积式、 变介质常数式三种； 按电容器极板形状 分为平板和圆通形P65。 4.3.3 电容元件的结构和特性 1、变极距式电容器 图示为变极距型电容式 传感器的原理图。当传感 器的εr和S为常数，初始 极距为d0时，其初始电容 量C0为： 若电容器极板 间距离由初始值d0 缩小了Δd，电容 量增大了ΔC，则有： 式中若Δd/d01，