棕化工艺问题解析指南.pdfVIP

CIRCUBONDTM 2200 棕化工艺 问题解析指南 罗门哈斯电子材料(东莞)有限公司 January . 2005 RHEM Confidential TM TM CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 故障排除步骤 故障排除步骤 分析所有槽液各成分含量 DES中的退膜液 检查下列条件是否变化 流速 温度 液位 铜箔类型 H O 浓度或预浸液中铜含量 2 2 层压板周期 RHEM Confidential TM TM CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 综述 开缸： • 在开缸时，2218A、2218B中的成份将可能因DI水温度低而沉淀 出来，导致分析结果偏低。如果在此时补加药水，待温度升高 ，成份重新溶解出来就会造成实际浓度偏高。 为了避免以上情况发生，请在配槽时第一步先加入浓HSO ，再加 2 4 入2218A及2218B。 请使用经过处理或浸泡清洗的过滤芯，以免将过滤芯中的粘合剂 和润滑剂带入槽液。未经过处理的过滤芯可能带来大量的泡沫和 发亮的棕化涂层。 RHEM Confidential TM TM CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CL¯ CL¯的存在可能污染整个棕化槽。如果CL¯超标，整槽药 水必须废弃重开。任何可能带入CL¯的来源在开缸前必 须被清除 RHEM Confidential TM TM CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CL¯的来源有以下途径 自来水。 不要使用自来水配槽。 • 处理不良的DI水。 当离子变换系统使用HCL做为再生剂时需要特别留意再生 后的清洗过程，必须保证HCL被彻底清洗。罗门哈斯建议使用 H SO 做为再生试剂取代盐酸。 2 4 低质量的H O 。 建议H O 中CL¯含量应小于10ppm。 2 2 2 2 RHEM Confidential TM TM CIR