[工学]第6章_压电式传感器.ppt

压电传感器是力敏感元件，所以它能测量最终能变换为 力的各种物理量，例如力、压力、加速度等。 压电晶体：如石英等； 压电陶瓷：如钛酸钡、锆钛酸铅等； 新型压电材料：压电半导体(如硫化锌、碲化镉等) 高分子压电材料。 z轴：光轴，它与晶体的纵轴线方向一致，又叫中性轴 因为沿着z轴方向受力时不产生压电效应。 x轴：电轴，经过正六面体棱线并垂直于光轴z，在垂直 于此轴面上的压电效应最强。 y轴：机械轴，垂直于两个相对的晶柱棱面。 石英晶体具有压电效应，是由其内部分子结构决定的 组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在垂直于z轴的 xy平面上的投影，等效为图(b)一个正六边形排列。 只有当压电传感器内部信号电荷无漏损或外接电路负载RL无穷大时,压电传感器受力后产生的电压或电荷才能长期保存,否则电路将以某时间常数按指数规律放电 对于静态、低频测量极为不利,必然带来误差 只有外力不断以较高频率作用,传感器的电荷才能得以补充, 压电晶体不适合于静态测量 在实际使用时压电传感器总要与测量仪器或测量电路 相连接，需考虑压电传感器的泄漏电阻、连接电缆的 等效电容、前置放大器的输入电阻和输入电容等 使用电压放大器时，测量系统对电缆电容的变化很敏感，连接电缆长度的变化明显影响测量系统的输出； 使用电荷放大器时，电缆长度变化的影响几乎可忽略不计。 但与电压放大器相比，电荷放大器价格要高很多，电路也较复杂，调整起来也较困难。 x轴-电轴，沿此方向的作用力产生电荷的纵向压电效应 y轴-机械轴，沿此方向的作用力产生电荷的横向压电效应 z轴-光轴，沿此方向的作用力不产生压电效应 案例：飞机模态分析 一种典型的有源传感器（或称发电型传感器） 以某些介质材料的压电效应为基础，当材料受外力 作用而变形时，其电介质表面产生电荷，从而实现 非电量测量。 小 结 例如： 石英晶体、单晶硅、压电陶瓷等 双向传感器 实现力与电荷的双向转换 压电传感器的工作原理 压电效应的定义 某些电介质（晶体），当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，又重新恢复不带电状态，这种现象称压电效应。 6.1 压电效应及压电材料 6.2 压电式传感器测量电路 6.2.1 压电式传感器的等效电路 6.2.2 压电式传感器的测量电路 6.3 压电式传感器的应用 第6章 压电式传感器 当压电晶体在外力作用下，其两个极面上将出现极性相反 电量相等的电荷∴压电传感器可以看作电荷发生器,图(a) 1、压电式传感器的等效原理 同时,它也是一个电容器, 晶体上聚集正、负电荷的两表面相当于电容的两个极板, 极板间物质等效于一种介质,图(b) ＋＋＋＋ ―――― q 电极 压电晶体 (a) 压电传感器的等效原理 q Ca (b) 当两极板聚集异性电荷时, 则两极板呈现一定的电压, 大小为 1、压电式传感器的等效原理 ＋＋＋＋ ―――― q 电极 压电晶体 (a) 压电传感器的等效原理 q Ca (b) A、d -压电片的面积、厚度 ε0(=1/3.6 π)、εr -真空、压电材料的相对介电常数 电容量 （a）等效电压源 2、压电式传感器的等效电路 一个与电容相串联的电压源 （b）等效电荷源 Ca ua （a）电压源 q Ca （b）电荷源 一个与电容相并联电荷源 电压灵敏度 电荷灵敏度 两者的关系 注意：压电晶体不适合于静态测量 2、压电式传感器的等效电路 6.2.2 压电式传感器的测量电路 1、压电式传感器前置放大器的作用 2、前置放大器的形式 3、电压放大器（阻抗变换器） 4、电荷放大器 ∵传感器的内阻很大, 而输出信号较小, 一般不能直接取用 ∴需要接入高输入阻抗的前置放大器 1、压电式传感器前置放大器的作用 前置放大器的作用 （1）将传感器的高输出阻抗变换为放大器的低输出阻抗 （2）放大传感器输出的微弱信号 根据压电传感器等效电路可知，传感器的输出可以是 电压信号，也可以是电荷信号∴有相应两种形式 （1）电压放大器：也称作阻抗变换器，其输出电压 与输入电压（传感器的输出电压） 成正比 （2）电荷放大器：其输出电压与输入电荷成正比 2、前置放大器的形式 （1）电路