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电子显微镜入门 第一版 2013年11月 电子显微镜入门综述 显微镜的最高在光线充足的情况下，人眼可以分辨出相隔0.2mm的两点，此为人眼的分辨率。单片透镜或透镜组（显微镜）能放大这样的间距。 迄今为止电子显微镜能达到的最高分辨率为0.05nm。 的种类大致可以分为三类：光学显微镜、带电粒子（离子）和扫描显微镜。 利用可见光和透镜组工作，分辨率可达，如红细胞（）头发（）的倍数约可达，达到nm。或离子显微镜利用带电离子束形成图像，用电磁或静电透镜来聚焦带点，可看清小至十分之一纳米的如单个原子）。 显微镜使用物理探针且极细的针头）接触或物体表面的扫描样品。通过探针样品间的各种作用力相互作用方式来形成图像。此类也能达到原子尺度分辨率。 发明的必要性影响显微镜分辨率的因素包括透镜组的数量与质量，）波长。 通过障碍物的开口，如的光圈时，的边缘会令其产生衍射，形状完美的镜头也会因衍射而分辨率受限。透镜质量可以优化但无法提高其分辨率。衍射量孔径光阑和光线波长的函数，孔径越大，波长越短，分辨率越高。透镜的质量与数量提高到一定时可见光的瓶颈显现了很难分辨出数百纳米一下的物体，即便使用波长稍短的（蓝光、）或者是样品物镜正面浸泡于高折射率介质油），也仅仅能将分辨率提高到略低于nm。 ，发现中加速电子特性和相似： 传播，拥有波浪的性质； 大约比短十万倍 其次，和磁场可用于控制电子的运动路径，这与玻璃透镜能弯曲并聚焦可见光方法类似。一来使用电子束和电磁场来取代可见光和透镜组设计新的成为可能。 衍射 如果波穿越的周期性结构的周期与此波波长数量级相同，则穿过去的波会发生干涉，导致生成超越物体的图样。当海浪经过整齐的标杆线或者透过伞的面料观看街灯时，也会观察到相同现象。街灯此时显示为矩形光点图样。图样中心最亮，越靠边光线越弱。这是由伞面料导致的光线衍射造成的，图样的尺寸和形状可提供结构信息（编织的紧密度和方向）。晶体导致电子衍射的方式与可见光完全相同，因此显微镜荧光屏光点图样也可提供晶格信息（晶格平面的形状、方向和间距）。 聚焦粒子束(FIB)及双束显微镜 +)离子。FIB可实现高分辨率成像（分辨率可达几纳米），又由于离子质量远比电子质量大，因此FIB也可用于清除样品表面的材料，当然这需要极为精密的控制。FIB可与SEM共同结合于单部仪器中(FIB/SEM)，电子和离子镜筒协同工作，使SEM能提供经聚焦离子束磨光的表面的即时高分辨率图像。 透射电子显微镜 TEM的工作原理 幻灯片投影机光源发出的光线借助聚光镜转变成平行光束，并穿过幻灯片（相当于物体），然后物镜将平行光束聚焦，产生放大的图像并投影到屏幕上。 而在透射电子显微镜内，光源被替换为电子源，玻璃透镜被替换为磁透镜（更改穿过透镜线圈的电流即可改变磁透镜的放大倍数，或称焦距， 电子束从电子枪（通常位于镜筒顶部）发出，穿过聚光镜后聚集成几乎平行的电子束直奔样品。并且从光源到荧光屏的电子运动轨迹完全处于真空条件下，否则电子会与空气分子碰撞，以致被击散或被吸收，同时样品（物体）必须非常薄，以使电子能穿透而过，通常为0.5μm（岩石薄片为）TEM样品厚度的要求 电子很容易被其他物质的作用下停止运动或转向（电子约比最小的原子小2000倍）。这也是为什么显微镜内部必须抽空气体以及样品（指透射显微镜）必须极薄。 通常，为进行电子显微学研究，透射电子显微镜样品的厚度不得超过数百纳米。不同的厚度提供不同类型的信息。对于当今电子显微学研究而言，越薄越好。而对于一些特殊材料，使用现代制备技术可制造出厚度仅为十分之几纳米的样品。 虽然厚度是首要考虑因素，但保护样品主要性质且不改变其原子结构的制备工作同样重要，这并非可以随意处理的任务。 STEM 结合TEM和SEM原理进行工作的显微镜通常被称为扫描透射电子显微镜(STEM)。配备STEM设施的现代TEM系统在调至STEM模式后，分辨率可达到0.05nm。 TEM的组成部件 电子光学镜筒 真空系统 必需电子元件（用于使电子束聚焦并偏向的透镜组，用于产生电子源的高压发电机） 控制软件。 现代透射电子显微镜还可远程操作，操作员无需进入仪器环境，这对操作员和仪器均有益处。 电子枪 电子显微镜使用三种主要电子源类型：钨电子枪、六硼化镧电子枪(LaB6，通常也称为“lab 6”)和场发射电子枪(FEG)。 加速电压越高，电子速度越快。80kV电子的速度可达150,000千米/秒(1.5×108m/s)，达光速的一半。300kV电子的速度可达至230,000千米/秒(2.3×108m/s)，超过光速的四分之三。 10kV扫描电子显微镜内电子波长为12.3×10-12m(12.3pm)，而200kV透射电子显微镜内电子波长为2.5pm。 电子束的电流一般约为10皮安(1pA=10-12A)