精密检测技术课件4.ppt

第四章 表面粗糙度及表面微观形貌测量 表面微观形貌是指表面的微观几何形态；它是由于加工过程中刀具和零件的摩擦、切削分离时的塑性变形和金属撕裂、加工系统的振动等原因，在零件表面留下的各种不同形状和尺寸的微观结构。表面形貌的测量越来越引起人们重视，这是因为： ①表面微观形貌在很大程度上决定了零件的使用性能。它影响机械系统的摩擦磨损、接触刚度、疲劳强度、配合性质、传动精度、导电、导热、抗腐蚀性等，从而影响到机械产品的质量及可靠性。它是机械产品的重要质量指标，不仅要定性测量，还要定量测量。 ②表面微观形貌对加工过程中的工艺过程状态(如刀具磨损、机床振动、切削用量等)变化非常敏感，因此它被认为是加工过程中控制、监测和诊断的重要手段。 ③当代高新科技的发展对于表面微观形貌研究提出了越来越高的要求。硅片表面粗糙度对集成电路的电阻、电容、成品率影响很大； 磁盘表 面粗糙度影响到耐磨、使用寿命、信号的读出幅度、信噪比等；X射线元件、激光器的反射镜窗片、同步辐射光学元件、激光陀螺元件等都要求越来越高的表面质量。 ④表面微观形貌测量在学科领域上和纳米技术、生物技术等互相渗透，后者的发展为前者带来了新的技术手段和新的工作领域。 机械加工中描述表面微观形貌误差最常用的参数是表面粗糙度。评定表面粗糙度的参数很多，但是最常用的而且和本章关系最密切的有尺Ra，Rq,Rz,Ry等，它们代表的意义是； Ra：为轮廓算术平均偏差； Rz：为微观不平度10点高度； Ry: 为轮廓最大高度； Rq: 为轮廓均方根偏差。 §4—1 表面粗糙度的常规测量方法 表面粗糙度的评价： 1、定性：采用比较得方法来判断它的级别； 2、定量：通过仪器测量以确定它的级别。 常用的有样板比较法、光切法、干涉法、触针法以及印模法等。 一、比较法 比较法是车间常用的方法。将被测表面对 照粗糙度样板，用肉眼或借助于放大镜、显微 镜比较；也可用于摸靠感觉来判断被加工表面 的粗糙度粗糙度样板(如图4—1)的材料、形成 及制造工艺尽可能与工件相同，这样才便于比较，否则会产生较大的误差。 二、光切法 1．光切法测量原理 光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法。它是将一束平行光带以一定角度投射于被测表面上，光带与表面轮廓相交的曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状。这种用光带投影于被测面而获得截面轮廓曲线的方法即称为光切法。 光切原理如图所示，由光源 发的光线经狭缝后形成一束光带 。此光带以450方向与被测表面相 截。若零件表面轮廓如图4—2(a) 所示的台阶面，则在与光带投射 方向相应的反射方向上，通过显 微镜就可以看到如图4—2(b)所示的像。 由图中的几何关系可得： 式中：h——台阶高； h’’——告阶像高； S——台阶宽度； S’——台阶像宽； β——显微镜放大倍数。 2、双管显微镜 双管显微镜就是根据“光切原理”制成 的。图4—3是它的光学系统图。显微镜有照 明管和观察管，两管轴线互成900,在照明管 中，光源1通过聚光镜2、窄缝3和透镜5， 以450确的方向投射在工件表面4上，形成一 狭细光带，光带边缘的形状即为光束与工 件表面相交的曲线，也就是工件在450截面上的表面形状。此轮廓曲线的波峰在sl点反射，波谷在s2点反射，通过观察管的透镜5，分别成像在分划板6上的是峰、谷影像的高度差。图4—4是仪器的视场图。图4—4(a)是以可动十字分划线与最高点相切的情况，此时可在测微目镜鼓轮上读数，标尺移动方向与表面影像的峰谷方向成450 ，即再放大√2倍，这样可使按式(2)计算h比较方便。 图4—4(b)是可动十字分划线与最低点相 切的情况，此时又可读一次数；前后两 次读数之差经简单计算就可求得h值，测 量时可按Rz定义，在基本长度内，测5个 最高点和5个最低点，求出h的平均值， 再根据所选透镜组5(可换物镜组)确定测 微目镜鼓轮每一格的分度值c， 以c值乘h的平均值，即得被测 表面的Rz值，将此值与表面租 糙度数值表的数值相比较，即 可确定工件表面的粗糙度。 由图可知： H=H1cos450=H1/√2 h=βH1=βH√2 H=h/ (β√2) h=hacos450 = ha/√2 H=1/ (β√2)(ha/√2) H=ha/(2 β) 三、干涉法及干涉显微镜 干涉法是指利用光学 干涉原理来测量表面粗糙 度的一种方法。 干涉显微镜是根据光 学干涉原理制成的。 图4—6(a)为其光学系统 示意图。由光源1发出的 光线经聚光镜2、滤色片 3、光阑4