一种新型微空阴极结构的大气压射频冷等离子体源.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 %% $$ !##’ $$ ， ， ， W./ 7%% V. 7 $$ V.X+?Y+A !##’ （ ） $###P!G#Q!##’Q%% $$ Q%:!P#’ R6SR 5THU6R HUVU6R !##’ 6-@J 7 -K* 7 H.1 7 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 一种新型微空阴极结构的大气压射频冷等离子体源 裘 亮 孟月东 任兆杏 钟少锋 （中国科学院等离子体物理研究所，合肥 !##$） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） !##% $$ $ !##’ $ $ 介绍微空阴极的结构和物理机理，着重介绍一种新型大气压下射频激励的大面积冷等离子体源———融合空心 阴极（ ， ）结合应用和与之有关的研究，简单介绍空心阴极的放电特性，以及影响其放电特性 ()*+, -.//.0 123-.,+* 456 7 的因素，如阴极材料、气体种类、频率、气体流速、气压、阴极内径等7 另外提到了其他两种相关的微空阴极系统7 关键词：微空阴极，大气压，冷等离子体，射频 ： ， ， ， !## %### 8# %!%#9 :!8#; ， ）结构，它在不同的几何结构 123-.,+ ,@*1-2AB+ C569 $ 引 言 和工作条件下，有着多种多样的放电模式7 C569 有 很多优点：粒子的激活程度高，在同样电压条件下 ［ ］ $# 在非平衡等离子体中，气体、离子和电子的温度 C569 等离子体密度比辉光放电高几个量级 ， 是不平衡的7 通常当气压低于 $ =2 时，碰撞频率 C569 在高功率从低到高、气流从零到非常高、气压 ［］ 低，能保持相对低的气体温度，唯独电子获得大的能 从低到高都能放电$ 7 量 而大气压气体的碰撞频率高，要产生非平衡等离 7 子体的关键则是把能量选择性地传输给电子的效 ! 单空心阴极 率7 大气压气体的击穿需要高电压，这经常造成放电 收缩拉弧，同时气体温度大幅上升 特别在分子气体 7 $ % % 单空心阴极的两种结构 中，非弹性碰撞会造成电