低温低压热超音波LED覆晶接合设备之技术研发-应用工程科学研究所.PDFVIP

熱壓式壓電超音波接合Flip Chip LED之系統設計 國立彰化師範大學機電工程學系 Mechatronics Engineering 運動控制與量測實驗室 Motion control and Measurement Lab. 黃宜正 ychuang@.tw/ http:.tw 2007/11/05 1/98 Where is NCUE ? 2/98 Outline Introduction: PZT LED Initiated by a Industry-Academia Cooperation Project Equipment Setup and Design in Lab Issues Experiments Toward To the Key PZT Device Test and Design Conclusion 3/98 簡介壓電陶瓷材料 壓電陶瓷材料是鋯酸鉛(PZ)/鈦酸鉛(PT)的混合物 鈦酸鋯酸鉛系(Pb(Zr,Ti)O3)，簡稱PZT。 Piezo 希臘字義為壓的意思，而壓電(Piezoelectric) 意義即在於給與壓力 (Pressure)而致使壓電材料產 生電力(Electricity) ，ex.: 3D stress sensor ，反 過來說，以壓電致動器為例 當給與電荷 (charge)[ more linearity或是電壓] (voltage)[ cause hysteresis時將產生機械位移] (displacement)變形或是力 (force的特性。) 4/98 因為壓電效應是可逆的，所以把材料因 體積變化而產生電壓的效應稱為 正壓電 效應 ；反之，材料因加入電壓而造成體 積變化的效應稱為 逆壓電效應 ；而具有 壓電效應的材料則統稱為壓電材料 。 5/98 Source: Introduction: PZT Why use the piezoelectric actuator ? 7/98 Source: http:/www.physikinstrumente.de/ PI: Moving the NanoWorld 8/98 Multilayer Actuators for Diesel Injection Valve [Courtesy by Siemens and Bosch] Injection Valve on a Common-rail Peugeot Diesel