台北科技大学研发总中心先进制程实验室快速热退火系统操作说明.PDFVIP

台北科技大學 ⁄ 研發總中心 ⁄ 先進製程實驗室 快速熱退火系統操作說明 95/11/10修訂 廠牌型號：ULVAC RTA 購買日期：95/9/18 操作說明： 一、系統各部分說明 19 18 17 20 16 14 12 11 10 9 8 7 6 15 5 4 3 2 1 13 1. 總電源開關 12. 真空計 (顯示爐內壓力) 2. 氣體通入開關 (如氮氣) 13. 氮氣流量計 (單位：L/min) 3. 真空計電源開關 14. 氣體流量計 (單位：cc/mm 、尚未使用) 4. 真空幫浦電源開關 15. 緊急停止鈕 1 5. 大氣通入開關 16. 緊急停止鈕 2 6. 加熱器開關 (上開，下關) 17. 高溫爐門 (爐內溫度 70°C 以下始能打 7. 電功率輸出比例旋鈕 開) 8. 總電源指示燈 18. 爐門扣環 9. 氣體通入指示燈 19. 紅外線黃金聚光爐 (沒事別打開，要打 10. 紅外線燈電流安培計 開爐內溫度需低於 70°C) 11. 溫控器 (設定加熱程序) 20. 聚光儀扣環 二、操作步驟 (1) 開機前準備 1. 至無塵室外的鋼瓶室，按下冷水機面板右下方的按鈕，開啟冷水機的電源。 2. 如在熱退火時欲通入氮氣，開啟氮氣鋼瓶上的開關，再開啟牆壁上的氣閥開關。 (2) 進行熱退火製程 注意：當發生任何不正常狀況，實際溫度與溫控設定值不符，如升溫過快或溫度過高，立即 按下紅色緊急停止鈕，將系統總電源關閉。 1. 在刷卡機上刷卡登入。 2. 打開系統總電源開關 (總電源指示燈會亮起) 。 3. 打開真空計電源開關。 4. 將爐門扣環打開，輕輕將真空爐門向外拉開。操作者最好穿戴口罩和手套，注意不要對真 空爐內呼氣或留下指紋。 5. 將欲退火的晶片置於石墨片上，檢查熱電耦接點是否與石墨片接觸。如果沒有的話，用塑 膠夾輕輕將熱電耦接點與石墨片接觸。註：在 800°C 時，熱電耦接點會與矽晶片融合，故 不可使用矽晶片做為墊片。 6. 輕輕將真空爐門向內推入，注意不要撞到內部的圓形石英片，然後將爐門扣環扣上。 2 7. 熱退火有兩種模式：(1) 大氣下退火；(2) 真空下退火。以下分別說明其步驟。 (1) 大氣下退火 1. 打開牆壁上的氮氣開關。 2. 打開面板上的大氣通入開關。注意此步驟很重要 ，否則將因氣體持續通入石英爐管中，