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ICS 37.020; 17.180 N 33 中华人民共和国国家标准 GB ××××—×××× X-射线光电子能谱分析方法通则 General rules for X-ray photoelectron spectroscopic analysis method （报批稿） (本稿完成日期:2002.05) ××××- ××- ××发布 ××××- ××- ××实施 国家质量技术监督局 发布 GB ××××—×××× 目 次 前言 IV 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 3.1 X-射线光电子能谱（X-ray photoelectron spectroscopy, XPS ） 1 3.2 化学分析用电子能谱（Electron spectroscopy for chemical analysis, ESCA ） 1 3.3 与角度有关的XPS （Angle-resolved XPS, ARXPS; Angle-Dependent XPS, ADXPS ） 1 3.4 飞离角（take-off angle ） 1 3.5 非弹性电子散射本底扣除(inelastic electron scattering background subtraction) 2 3.6 特征X射线 (characteristic X-rays) 2 3.7 结合能 (binding energy) 2 3.8 电子减速 （electron retardation ） 2 3.9 每通道能量（步长）（energy per channel ） 2 3.10 固定分析器能量方式（constant ΔE mode; constant analyzer energy mode; CAE mode; fixed analyzer transmission mode; FAT mode ） 2 3.11 通能 (pass energy) 2 3.12 计数 (counts) 2 3.13 逸出功（work function ） 2 3.14 自旋轨道分裂 (spin orbit splitting) 2 3.15 峰面积 (peak area) 2 3.16 峰-本底比 (peak-to-background ratio) 2 3.17 峰宽或线宽 (peak width or line width) 2 3.18 光电效应 (photoelectric effect) 3 3.19 光电发射 (photoemission) 3 3.20 定量分析 (quantitative analysis) 3 3.21 能量分辨率 (energy resolution) 3 3.22 元素相对灵敏度因子 (relative elemental sensitivity factor) 3 3.23 X-射线线宽 (X-ray linewidth) 3 4 方法原理 3 5 仪器 3 5.1 仪器组成 3 5.2 仪器性能 5 6 样品 5 7 分析步骤 5 7.1 分析准备 5 7.2 分析须知 5 7.3 X射线光电子能谱（XPS ）定性分析 6 7.4 X射线光电子能谱（XPS ）定量分析 6 8 分析结果的表述 7