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中华人民共和国国家标准X
ICS 37.020; 17.180
N 33
中华人民共和国国家标准
GB ××××—××××
X-射线光电子能谱分析方法通则
General rules for X-ray photoelectron spectroscopic analysis method
（报批稿）
(本稿完成日期:2002.05)
××××- ××- ××发布 ××××- ××- ××实施
国家质量技术监督局 发布
GB ××××—××××
目 次
前言 IV
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
3.1 X-射线光电子能谱（X-ray photoelectron spectroscopy, XPS ） 1
3.2 化学分析用电子能谱（Electron spectroscopy for chemical analysis, ESCA ） 1
3.3 与角度有关的XPS （Angle-resolved XPS, ARXPS; Angle-Dependent XPS, ADXPS ） 1
3.4 飞离角（take-off angle ） 1
3.5 非弹性电子散射本底扣除(inelastic electron scattering background subtraction) 2
3.6 特征X射线 (characteristic X-rays) 2
3.7 结合能 (binding energy) 2
3.8 电子减速 （electron retardation ） 2
3.9 每通道能量（步长）（energy per channel ） 2
3.10 固定分析器能量方式（constant ΔE mode; constant analyzer energy mode; CAE mode; fixed analyzer
transmission mode; FAT mode ） 2
3.11 通能 (pass energy) 2
3.12 计数 (counts) 2
3.13 逸出功（work function ） 2
3.14 自旋轨道分裂 (spin orbit splitting) 2
3.15 峰面积 (peak area) 2
3.16 峰-本底比 (peak-to-background ratio) 2
3.17 峰宽或线宽 (peak width or line width) 2
3.18 光电效应 (photoelectric effect) 3
3.19 光电发射 (photoemission) 3
3.20 定量分析 (quantitative analysis) 3
3.21 能量分辨率 (energy resolution) 3
3.22 元素相对灵敏度因子 (relative elemental sensitivity factor) 3
3.23 X-射线线宽 (X-ray linewidth) 3
4 方法原理 3
5 仪器 3
5.1 仪器组成 3
5.2 仪器性能 5
6 样品 5
7 分析步骤 5
7.1 分析准备 5
7.2 分析须知 5
7.3 X射线光电子能谱（XPS ）定性分析 6
7.4 X射线光电子能谱（XPS ）定量分析 6
8 分析结果的表述 7
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